真空探针台

真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探  针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成

高低温真空 探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。


· 结构紧凑，适用于各种变温测试
· -196℃~400℃（配液氮致冷模块）
· 气密腔室设计，可通保护气氛
· 4探针，手动定位（可扩展为6个）
· 支持改动或定制


真空探针台KT-Z160TZ参数

真空腔体
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
加热台材质
304不锈钢
内腔体尺寸
φ160x90mm 
观察窗尺寸
Φ70mm
加热台尺寸
φ60mm
观察窗热台间距
75mm
加热台温度
﹣196~400℃
加热台温控误差
±1℃
真空度
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
允许正压
≤0.1MPa
真空抽气口
KF25真空法兰
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
电信号接头
SMA转BNC X 4
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
探针数量
4探针
探针材质
钨针  
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
30mm    ±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm 
Y轴移动行程
13mm    ±12.5mm
Y轴控制精度
≤0.01mm 
Z轴移动行程
13mm    ±12.5mm
Z轴控制精度
≤0.01mm 
电子显微镜
显微镜类别
物镜
物镜倍数
0.7-4.5倍
工作间距
90mm
相机
sony 高清
像素
1920※1080像素
图像接口
VGA
LED可调光源
有
显示屏
8寸
放大倍数
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm