硅片模具加工如何选择光刻胶呢?
注意事项:
①若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶;
②看光刻机型式,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题
③负性胶价格成本低,正性胶较贵;
④工艺方面:负性胶能很好地获得单根线,而正性胶可获得孤立的洞和槽;
⑤健康方面:负性胶为**溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,负性光刻胶公司,对健康、环境无害。
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如何选择光刻胶
光刻胶**满足几个硬性指标要求:高灵敏度,负性光刻胶厂家,高对比度,好的蚀刻阻抗性,高分辨力,易于处理,高纯度,**命周期,低溶解度,低成本和比较高的玻璃化转换温度(Tg)。主要的两个性能是灵敏度和分辨力。大多数光刻胶是无定向的聚合体。当温度**玻璃化转换温度,聚合体中相当多的链条片以分子运动形式出现,因此呈粘性流动。当温度**玻璃化转换温度,链条片段的分子运动停止,聚合体表现为玻璃而不是橡胶。当Tg**室温,胶视为橡胶。当Tg**室温,胶被视为玻璃。由于温度**Tg时,聚合体流动*,广西负性光刻胶,于是加热胶至它的玻璃转化温度一段时间进行退火处理,可达到较稳定的能量状态。在橡胶状态,溶剂可以*从聚合体中去除,如软烘培胶工艺。但此时胶的工作环境需要格外关注,当软化胶温度大于Tg时,它*除去溶剂,但也*混入各种杂质。一般来说,结晶的聚合体不会用来作为胶,因为结晶片的构成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。
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光刻胶
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1959 年被发明以来就成为半导体工业的工艺材料之一。随后光刻胶被改进运用到印制电路板的制造工艺,负性光刻胶哪里有,成为 PCB 生产的重要材料。
二十世纪 90 年代,光刻胶又被运用到平板显示的加工制作,对平板显示面板的大尺寸化、高精细化、彩色化起到了重要的推动作用。
在半导体制造业从微米级、亚微米级、深亚微米级进入到纳米级水平的过程中,光刻胶也起着举足轻重的作用。
总结来说,光刻胶产品种类多、性强,需要长期技术积累,对企业研发人员素质、行业经验、技术储备等都具有较高要求,企业需要具备光化学、**合成、高分子合成、精制提纯、微量分析、性能评价等技术,具有较高的技术壁垒。
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