赛米莱德公司-NR71 3000PY光刻胶

光刻胶的概述　　

光刻胶也称为光致抗蚀剂，是一种光敏材料，它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。

光刻胶有正胶和负胶之分。正胶经过曝光后，受到光照的部分变得*溶解，经过显影后被溶解，只留下未受光照的部分形成图形；而负胶却恰恰相反，经过曝光后，受到光照的部分会变得不易溶解，经过显影后，留下光照部分形成图形。

负胶在光刻工艺上应用早，其工艺成本低、产量高，但由于它吸收显影液后会膨胀，导致其分辨率（即光刻工艺中所能形成图形）不如正胶，因此对于亚微米甚至较小尺寸的加工技术，主要使用正胶作为光刻胶。

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光刻胶的性能

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光刻胶产品种类多、性强，NR71 3000PY光刻胶多少钱，是典型的技术密集型行业。不同用途的光刻胶曝光光源、反应机理、制造工艺、成膜特性、加工图形线路的精度等性能要求不同，导致对于材料的感光性能、溶解性、耐蚀刻性、耐热性等要求不同。因此每一类光刻胶使用的原料在化学结构、性能上都比较特殊，要求使用不同品质等级的光刻胶化学品。

如何选择光刻胶

光刻胶**满足几个硬性指标要求：高灵敏度，高对比度，好的蚀刻阻抗性，高分辨力，易于处理，NR71 3000PY光刻胶，高纯度，**命周期，低溶解度，低成本和比较高的玻璃化转换温度（Tg）。主要的两个性能是灵敏度和分辨力。大多数光刻胶是无定向的聚合体。当温度**玻璃化转换温度，聚合体中相当多的链条片以分子运动形式出现，NR71 3000PY光刻胶价格，因此呈粘性流动。当温度**玻璃化转换温度，链条片段的分子运动停止，聚合体表现为玻璃而不是橡胶。当Tg**室温，胶视为橡胶。当Tg**室温，胶被视为玻璃。由于温度**Tg时，聚合体流动*，于是加热胶至它的玻璃转化温度一段时间进行退火处理，可达到较稳定的能量状态。在橡胶状态，溶剂可以*从聚合体中去除，如软烘培胶工艺。但此时胶的工作环境需要格外关注，当软化胶温度大于Tg时，它*除去溶剂，但也*混入各种杂质。一般来说，结晶的聚合体不会用来作为胶，因为结晶片的构成阻止均一的各向同性的薄膜的形成。

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