探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 技术参数; 真空腔体 类型 高温型室温到350℃ 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃ 腔体材质 304不锈钢 6061铝合金 可选 腔体内尺寸 127mmX57mmX20mm 腔体外尺寸 150mmX80mmX32mm 腔体重量 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG 腔体上视窗尺寸 Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) 腔体抽气口 KF16法兰(其余接口规格可转接) 腔体真空测量口 KF16法兰(其余接口规格可转接) 腔体进气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷 腔体水冷接口 6mm快拧 或 6mm快插 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) 其它技术参数可来电详询