技术参数;
真空腔体
类型 高温室温到 400℃ 低温室温到-190℃ 非标定做
腔体材质 铝合金
腔体内尺寸 167mmX57mmX33mm
腔体重量 约 2.6KG
腔体上视窗尺寸 Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
腔体抽气口 KF16 法兰(其余接口规格可转接)
腔体进气口 公制 3mm 6mm 气管接头 英制 1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口 6mm 快拧 或 6mm 快插
腔体正压 ≤0.05MPa
腔体真空度 机械泵≤5Pa (5 分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30 分钟)
样品台
样品台材质 不锈钢+无氧铜夹具
样品台尺寸 26x26mm 无氧铜夹具根据样品定制 热台间隙 0-10mm 调节范围
样品台加热方式 电阻加热 液氮流速制冷
样品台-视窗 距离 15mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
样品台测温传感器 PT100 型热电阻
样品台温度 室温到 400℃
样品台测温误差 ±0.5℃
样品台升温速率 高温 20℃/min 最大值 低温 10℃/min