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超声波显微镜在失效分析中的应用

晶圆面处分层缺陷 锡球、晶圆、或填胶中的开裂晶圆的倾斜各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）。超声波显微镜的在失效分析中的优势非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构 可分层扫描、多层扫描 实施、直观的图像及分析 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计 可显示材料内部的三维图像 对人体是没有伤害的 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）

EMMI微光显微镜

微光显微镜（Emission Microscope， EMMI）是常用漏电流路径分析手段。对于故障分析而言，微光显微镜（Emission Microscope， EMMI）是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP（Electron Hole Pairs）Recombination会放出光子（Photon）。如在P-N结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N，化学开封机多少钱，然后与P端的空穴（或N端的电子）做EHP Recombination。在故障点定位、寻找近红外波段发光点等方面，微光显微镜可分析P-N接面漏电；P-N接面崩溃；饱和区晶体管的热电子；氧化层漏电生的光子激发；Latch up、Gate Oxide Defect、Junction Leakage、Hot Carriers Effect、ESD等问题.

虽然超声波扫描显微镜与普通的光学显微镜有着诸多的不同点，但是它们也各司其职，化学开封机供应商，并无优劣之分，化学开封机厂家，在不同领域只需要根据使用情况酌情选择即可，由于超声波扫描显微镜在线下较为少见，因此许多企业对于该种显微镜理解上具有局限性，所以要增加对超声波扫描显微镜的详情了解。苏州特斯特电子科技有限公司，主要从事各类测试、检测仪器设备的代理销售和技术服务，化学开封机，产品涵盖电子元器件，电路板，线缆线束的测试与检测。设备主要来自于欧美日等先进测试设备制造国家。




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