净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:
A.弹性扩充*;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
净化工程噪声控制有很高的要求。这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式:
(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要,为照亮整个被照面积而设置的照明。
(2)局部照明这是指为增加某一指1定地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。
(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%,但不低干150LX。单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(LX)。国外洁净室的强度要求较高,百级洁净室哪里有,例如美国关于洁净室的几个标准的要求是.人工光300lx有较好的效果,当工件精细程度较高时,500x也是允许的。对于要红灯照明的地方,如电子行业的光刻车间,其照度一般为(25—501x),百级洁净室供应,用**光时可允许较高的照度,因而对工作是有利的,所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用**光可能是有前途的,这也是为了节能而出现的一种动向。
净化工程解决方案:大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求,不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求,而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此,百级洁净室,在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施,百级洁净室好不好,例如:夏季要降温、去湿(因为夏季室外空气是高温、高湿的),冬季要加热加湿(因为冬季室外空气是寒冷干燥的,室内湿度过低会产生静电,静电对电子产品的生产是致命的)。
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