供应光刻机/四川成都重庆北京

我们供光刻机/四川成都重庆北京
   成都鑫南光机械设备有限公司**提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机；在真空器件生产方面使用的排气设备(真空排气台)；在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉、零件真空储存和真空干燥设备；在电光源产品生产上使用的真空排气机,以上方面设备的设计、制造和安装调试, 公司均有着自己*特的专长
主要技术指标：
 1、本机采用双面对准单面曝光方式。
 2、基片X、Y、θ对准工作台，X、Y移动：±5mm，θ转角≤±5°。
 3、基片与掩膜对准精度（包括与记忆图形的对准精度）≤0.001mm。
 4、板架来回翻转重复精度≤0.004mm。
 5、采用蝇眼曝光头，曝光面积：≤Φ100mm，光的不均匀性：≤±4%，光强可调，350W直流汞灯。
 6、适用于Φ4″、Φ3″、Φ2″基片，配有三种不同的承片台和相对应的板架。
 7、显微系统放大倍数：51～32

成都鑫南光机械设备有限公司**提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机；在真空器件生产方面使用的排气设备(真空排气台)；在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉、零件真空储存和真空干燥设备；在电光源产品生产上使用的真空排气机,以上方面设备的设计、制造和安装调试, 公司均有着自己*特的专长 公司总经理：刘丹毅 销售副总：任