四川成都光刻机光刻机 成都鑫南光机械设备有限公司**提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机;在真空器件生产方面使用的排气设备(真空排气台);在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉、零件真空储存和真空干燥设备;在电光源产品生产上使用的真空排气机,以上方面设备的设计、制造和安装调试, 公司均有着自己*特的专长 一、用途 1、四川成都光刻机适用于Φ100mm以下,厚为0~5mm各种基片的曝光。 2、四川成都光刻机由于采用了高均匀性的多点光源曝光头,非常理想的三点找平机构,稳定**的真空压紧曝光,使本机的曝光分辨率和曝光均匀性都大为提高。 3、四川成都光刻机版不动,片动的对准方式,**了导轨自重和受力方向的一致性,加之承片台升降采用无间隙滚珠直进导轨和三点式找平机构的成功应用,使本机漂移特小,对准精度高,对准速度快。 4、四川成都光刻机电控采用PLC控制,各主要元件(如电磁阀等)采用进口件,高稳定**是本机的又一优点。
成都鑫南光机械设备有限公司**提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号的光刻机;在真空器件生产方面使用的排气设备(真空排气台);在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉、零件真空储存和真空干燥设备;在电光源产品生产上使用的真空排气机,以上方面设备的设计、制造和安装调试, 公司均有着自己*特的专长 公司总经理:刘丹毅 销售副总:任