二、空态、静态测试
(一)测试前的准备
1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行清洁。
2、采用光散射粒子计数器对高1效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高1效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5微米的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高1效空气过滤器2--3厘米处,可以2~4厘米/秒的速度移动,对高1效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5微米的尘粒**过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,**进行堵漏。
*9.2单向流洁净室0.8m工作面高度截面平均风速日常不小于0.25m/s,综合性能评定检验时不小于0.27m/s。 ?【检查方法】查阅报告或记录。
?【结果处理】风速略小可加围帘,或进行调整,车间净化哪里好,应重测。达不到要求为不合格。 9.3非单向流洁净室换气次数为:
7级20~25次/h
8级 15~20次/h
9级10~15次/h
?【检查方法】查阅报告。
?【结果处理】略小者调整后能否提高可重测。**过上限1.2倍者宜下调。为达到风量稳定和节能,宜使用变频风机。
9.4当工艺无特殊要求时,不同洁净度级别的相通相邻的一般洁净室之间的静压差应大于5Pa,洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。负压应满足工艺要求。 ?【检查方法】查看报告或实测。 如有排风,应是排风全开的结果。
*6.5所有洁净室室内排风风口均应有过滤器,其类别应符合设计要求。洁净室排风对环境将造成有毒有害影响时,排风口的洁净室室内侧**安有高1效过滤器,然后是粗效过滤器、排风机、逆止阀,车间净化哪里有,排风机应紧靠出口,保持排风管道为负压管道。仅含有大量粉尘的排风,排风管上应有除尘设备,车间净化厂家,确保排风浓度达标。
?【检查方法】外观检查,查看过滤器铭牌。
?【结果处理】不符合要求的为严重缺陷,**更换、改装,然后方可运行。
*6.6排除可能含有Ⅲ类生物危险度的生物气溶胶的管道**是不锈钢焊接成型的负压管道。洁净室排风口上的过滤装置**是零泄漏,过滤器为B类或较高的高1效过滤器。高1效过滤器应有过滤器*拆卸的措施。
?【检查方法】外观检查,查看过滤器铭牌。
?【结果处理】不符合要求的为严重缺陷,车间净化,**改装,重新改装的洁净室系统合格后,方可使用。
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