脉冲激光沉积的应用领域
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脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)
压电薄膜(PZT,脉冲激光沉积装置多少钱,AlN,脉冲激光沉积装置厂家,BiFeO3,BaTiO3)
铁电薄膜(BaTiO3,KH2PO4)
热电薄膜(SrTiO3)
金属和化合物薄膜电极(Ti,Ag,Au,Pt,Ni,Co,SrRuO3,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)
半导体薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)
高K介质薄膜(HfO2,脉冲激光沉积装置,CeO2,Al2O3,脉冲激光沉积装置公司,BaTiO3,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)
**导薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)
光波导,光学薄膜(PZT,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)
**疏水薄膜(PTFE)
红外探测薄膜(V2O5,PZT)
脉冲激光沉积系统特点及优势
可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供的技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交*程*繁琐的进、出关手续, 交货期短,高;
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脉冲激光沉积机制
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PLD的系统设备简单,相反,它的原理却是非常复杂的物理现象。它涉及高能量脉冲辐射冲击固体靶时,激光与物质之间的所有物理相互作用,亦包括等离子羽状物的形成,其后已熔化的物质通过等离子羽状物到达已加热的基片表面的转移,及膜的生成过程。所以,PLD一般可以分为以下四个阶段:
1. 激光辐射与靶的相互作用
2. 熔化物质的动态
3. 熔化物质在基片的沉积
4. 薄膜在基片表面的成核(nucleation)与生成。
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沈阳鹏程真空技术有限责任公司是由集科、工、技、贸为一体的**企业。公司业务部主要分为太阳能发电领域事业部和科学仪器事业部两大部门。太阳能发电领域事业部以致力于光伏发电系统集成研究、光伏设备研发生产为主导。鹏程真空光伏部与国内外多所高校、电力设计研究院、业内企业及相关生产企业建立了战略合作伙伴关系,拥有全套的光伏系统集成设计能力与配套产品供应。科学仪器事业部主要从事研发生产,各类薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、真空冶金设备、太阳能光伏设备、集成电路装备、真空非标系统研发生产、各种实验室特殊需求仪器的制造。