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扫描电镜电子探针显微分析仪基本原理

扫描电镜 电子探针显微分析仪基本原理

电子探针(EPMA)：它是在电子光学和 X 射线光谱学原理的基础上发展起来的一种、综合分析的仪器。

功能：在观察微观形貌的同时，进行微区成分分析。

原理：是用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征 X射线，扫描电镜测试哪家好，①分析特征 X 射线的波长（或特征能量），可对样品中所含元素的种类进行定性分析；②分析 X 射线的强度，则可对应元素含量进行定量分析。

构造：主机部分与 SEM 相同，只增加了检测X射线的信号的谱仪，用于检测X射线的特征波长或特征能量。

扫描电镜之电子探针

扫描电镜之电子探针

定量分析准确度高

电子探针是目前微区元素定量分析准确的仪器。电子探针的检测极限(能检测到的元素浓度)一般为（0.01－0.05）%， 不同测量条件和不同元素有不同的检测极限，张家口扫描电镜测试，但由于所分析的体积小，所以检测的感量极限值约为10-14g，主元素定量分析的相对误差为(1—3)%，对原子序数大于11 的元素，含量在10% 以上的时，其相对误差通常小于2%。

微区离子迁移研究

多年来，还用电子探针的入射电子束注入试样来诱发离子迁移，扫描电镜测试中心，研究了固体中微区离子迁移动力学、离子迁移机理、离子迁移种类、离子迁移的非均匀性及固体电解质离子迁移损坏过程等，已经取得了许多新的结果。

扫描电子显微镜的结构组成

1、真空系统

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。

??之所以采用真空，主要基于以下两个原因：

? 电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

??为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

2. 电子束系统

电子束系统由电子和电磁透镜组成。主要用于产生能量分布很窄且具有一定电子能量的电子束，用于扫描成像。

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