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真空腔体中抽气管道的设计原则

工艺室的抽气速率将**泵入口的抽气速率，相差多少取决于抽气管道的属性(例如长度和尺寸)。尽量降低工艺室和泵入口之间的压力差就可以使抽气速率损失减到少。

显然，抽气管道的属性对于性能十分关键。此时还需要考虑其它因素：流导。

我们采用流导(阻力的倒数)这一术语来定义“管道传递流动的能力”。流导的计量单位是每单位时间的体积并且和抽气速率的单位相同。工艺室抽气速率(S)可用抽气管道流导(C)和应用泵速(Sp)计算，如下所示：

S = (Sp*C)/(Sp C)

当C远远大于Sp时，则S近似为Sp；当Sp远远大于C时，则S近似为C。真空腔体

工艺室的抽气速率始终**应用泵速而且**抽气管道中部件的小流导(通常为小直径)。

在某种程度上管道短而粗是好的

采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是不错的做法，但只限于当抽气速度S接近泵速(Sp)较值的情况。

除此之外，通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能显著提高工艺室抽气速率；换而言之，如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加，当(S)接近管道流导(C)较值，非标定制价格，一味通过增加应用泵速来提高工艺抽气速度也是不经济的。

真空腔体加工

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井，这些构成一个完整的真空腔体。

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真空腔体制造技术介绍

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。

复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计，如手套箱、焊接室、脱气箱、表面分析真空腔等。例如脱气箱和手套箱一般采用低真空环境，可用于焊接，或用于塑料制品、复合材料层压板、封装组件等的脱气。

非标定制哪家好-沈阳鹏程真空技术公司-非标定制由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司是一家从事“电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束”的公司。自成立以来，我们坚持以“诚信为本，稳健经营”的方针，勇于参与市场的良性竞争，使“鹏程真空”**拥有良好口碑。我们坚持“服务至上，用户至上”的原则，使沈阳鹏程在成型设备中赢得了客户的信任，树立了良好的企业形象。 特别说明：本信息的图片和资料仅供参考，欢迎联系我们索取准确的资料，谢谢！

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