有几个单的行业特定准则,涉及半导体制造设备(SME)的环境,健康和安全(EHS)和SME的其他支持设备。SME应符合终用户要求的一些适用准则。SME还必须遵守使用地点适用的法规和规范。
上海沃证不仅按照SEMI S2指南进行EHS不合格验证,而且还以集成的安全设计为目标,以进行**产品合格性评估。
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境、 健康、 安全(EHS)由S系列规定。SEMI认证为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。SEMI认证适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
SEMI是否有符合人体工程学的标准?
SEMI S8-半导体制造设备的人机工程学安全准则
这些准则为半导体制造设备提供了人机工程学设计原则和注意事项。这些准则的目的是在制造环境中促进用户与设备之间的兼容性。
上海沃证的SEMI S2主管团队
为了满足复杂设备的挑战并帮助设备制造商满足SEMI S2指南中规定的要求,开发了下文所述的全部知识。
安全联锁和紧急关机
设备环境绩效
电气安全
排气通风
*保护
化学安全与工业卫生
加热化学浴
非电离和电离辐射
人机工程学和人为因素
雷射
危险能量隔离
声压级
机械危险与自动化
危险警告标签
抗震保护
安全文件
SEMI是否有无尘室标准?
除了SEMI F21-清洁环境中空气中分子污染物水平的分类外,SEMI没有洁净室的任何规范。
SEMI标准中引用的两个常见的无尘室规范是:
ISO 14644-洁净室和相关的受控环境*1部分:空气清洁度分类
联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境
某些标准中仍然引用了联邦标准209E-洁净室和工作站的要求,受控环境。但是,请注意,美国总务管理局(US General Services Administration)于2001年11月发布了该文档的取消通知。该通知中包含ISO 14644*1部分(空气清洁度分类)和*2部分(测试和监视规范,以其持续符合)。尤其提到了ISO 14644-1)作为FED-STD-209E的替代。
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