国内对ITO靶材的需求量大幅增长,国内生产的ITO靶材密度低,无法满足平板显示器行业对于靶材质量的要求.仅仅部分用于低端液晶产品中。目前世界上只有日本、美国、德国等少数发达国家和地区能生产ITO靶材,而我国平板显示器产copy业所需求的ITO靶材的98%依赖于进口,因此,研制开发ITO靶材生产技术是现有In生产企业开发In深加zhidao工技术的目标。
ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末百按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加度工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气知烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。ito薄膜是利用道ITO靶材作为原材料,通过磁控溅射把ITO靶气化溅版渡到玻璃基板或柔性**薄膜上。ITO薄膜具有权导电性和透光性,厚度一般30纳米--200纳米。
ITO靶材的主要分类:溅射靶、蒸镀靶。溅射镀膜靶材:
应用领域就是TFT这一块了,用量的当数彩色滤光片 CF ,其次是Array。这两块的供应基本被国外厂商控制,国内几家也都在向CF这块进行送样测试。另一块的应用就是ITO导电玻璃了。
国外ITO靶材的生产工艺和技术设备已较为成熟和稳定。其主要制备方法有热等静压法、热压法和烧结法。
世高 主营靶材— 高性能薄膜新材料,属国家**,于2007年成立溅射靶材公司。在交利的江苏苏州昆山设立了生产和研发基地。世高一直致力于高性能材料的研发和生产,为靶材的国产化作出了重要贡献。 世高新材料的产品广泛应用于半导体显示、半导体芯片、光伏太阳能、低辐射玻璃、光学光通讯、装饰镀工具镀等行业。公司经过多年努力,成功获得行业客户和**的认可,积累了一批优质稳定的行业客户,包括日久光电、 蓝思科技、芜湖长信、信利光电、镀邦光电 、伯恩光学等。