60年代末,人们以TiCl4为原料,用化学气相沉积在硬质合金基体上制备出氮化钛膜,其反应温度在900-1100摄氏度氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。TiN有着诱人的金、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的润湿小的结构材料、并具有较高的导电性和**导性,可应用于高温结构材料和**导材料70年代末,人们用离子镀制成氮化钛膜,沉积温度**550摄氏度,可镀在高速钢上,使高速钢的涂覆率达到50%以上
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