聚对二甲苯(Poly-p-xylene),商品名帕里纶(Parylene),是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲撑苯撑结构的聚合物薄膜的统称,它有极其优良的电性能、耐热性、耐候性和化学稳定性
聚对二甲苯是一系列具有多晶线性性质的有机聚合涂层材料的类署名,具有很好的单位厚度绝缘性,并具有化学惰性。聚对二甲苯的种类很多,全都无需填充剂、稳定剂、催化剂和塑化剂。
因此,这些材料不会出现津析、排气或萃取问题,由于聚对二甲苯能气相沉积,它可涂覆于极细微的空间和空隙,由于其分子级聚合作用,即一次一个分子附着于沉积表面,聚对二甲苯涂层超薄,不会形成气孔,并能敷形涂覆在元件上。聚对二甲苯还能满足微小尺寸和极轻重量的装置要求,任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。聚对二甲苯不会显著增加质量,这对微型植入装置来说是非常重要的优势。
聚对二甲苯也叫帕利灵(Parylene)是一族由对二甲基苯合成的热塑性塑料聚合物的通称,它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质,可以生成数百微米内任何厚度的薄膜
制备聚对二甲苯膜的方法有多种:涂层法、真空气相沉积法、等离子增强化学气相沉积法、化学气相冷凝法。涂层法是单体溶解在中,配成一定比例的溶液,通过浸涂、喷涂或旋涂等方法制备薄膜,采用催化剂或升温的方法聚合成聚对二甲苯膜。
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