3D光学轮廓仪的应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
白光干涉3D轮廓仪的相关技术参数
主要性能指标
1. 仪器类型:非接触式光学轮廓仪;
2. 仪器技术:白光干涉技术;
3. Z方向扫描范围不可小于10µm;
4. XY方向扫描范围不可小于150mm;
5. 支持样品反射率在0.05%到之间变化;
6. Z方向聚焦要不小于100mm;
7. Z方向扫描速度不能小于47µm/sec;
8. Z 方向精度 < 0.01nm;
9. RMS重复性(PSI)< 0.01nm;
10. 能够提供多种FOV,从而让物镜放大倍率在5X到100X之间切换;
11. 在任何物镜倍率下都要达到亚埃级至毫米级垂直测量量程;
12. 支持高亮度的双LED光源;
13. 支持实时观测样品台X、Y、Z、轴方向上的调节;
14. 支持自动光强强度调节;
15. 全自动样品台支持150mm样品大小;
16. PC要具备多核处理器和支持64位软件;
17. 支持无缝拼接,可以把成千上万个数据拼接成一张连续的图像;
3D轮廓测量仪有什么技术优势?
3D轮廓测量及分析仪可以应用于工业现场进行电池较耳焊印毛刺的形貌测量、较片分条后的波浪边测量,是高精度厚度测量设备,为测量带来便利,3D轮廓测量及分析仪使用寿命长,利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,可以对产品进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。大大提升了产品生产合格率,节省了生产成本。 测量原理: 利用高精度2D位移传感器对被测物进行扫描,得到被测物表面轮廓相关数据后,对其进行各种矫正和分析,得出需要的高度、锥度、粗糙度、平面度等物理量。有广泛的应用市场如:3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差;半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC;**精密加工.光学透镜;精密加工.发动机叶片;精密加工.金字塔型金刚石磁头;标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度。
三坐标测量机,3D光学轮廓仪与投影仪的区别
三坐标:精度较高。主要测量二维尺寸,三维尺寸都能测量,侧重点能测量三维尺寸,能测量一些空间尺寸,并且能做逆向工程。
投影仪:主要是通过光学原理,将被测量产品投影在一平面放大成像。精度没有三坐标高。
3D光学轮廓仪:侧重于一些曲面轮廓尺寸的测量。特别是对一些小特征,其它检测设备不好测量的尺寸,轮廓度就可以测量。
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