咸阳探头价格 真空规管 274 Bayard-Alpert

PGE300 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它较大的 brotherP GE500 一样配备了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。PGE300 配备与 PGE500 相同的传感器组件，以在 100 至 1000 mbar 的测量范围中获得同样高准确度的读数。PGE300 仅提供真空行业的大多数用户追求的关键内置功能，以限度地降低成本和提率。这种坚固的仪表和传感器设计结合工厂内置的清晰读数 LED 显示屏、3 种可选模拟输出信号和设**继电器，使得 PGE300 成为所有客户的高/低拥有成本选择，而不于 OEM 客户。这些特点使该仪表适合众多需要低真空度**真空度范围的经济型真空测量功能的应用。由于测量范围较广且准确度较高（尤其是在低压条件下），同时内置价格实惠的功能，因此在替代真空系统中的热电偶仪表时，PGE300 也是的主动真空计。
Edwards APGX-H线性对流真空计具有从 1333 到 3 x 10-4 mbar（1000 到 2.3 x 10-4 Torr）的很宽的测量范围。对流技术的使用可确保了粗真空段内的准确性和灵敏度。
真空计结构紧凑，可以在任意方位安装，因此适合空间有限的情况。该真空计集成了设**和两个 LED，LED 可指示设**和真空计的状态。

274 Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅较（阳极）加速运动。电子进入栅较和对地连接的收集较空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅较中心轴处的接地的收集较收集。在固定的灯丝对栅较的电压和电子**电流下，压力**10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力**10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。

B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极**的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因，仅有一小部分**的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时，收集较上会有光电子**。X射线电流限制了压力测量范围，使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围，取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较，这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电**时，X射线极限就决定了规管小压力测量值。

INFICON MPG500倒置磁控管真空计是所有真空测量应用明智的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中，测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。获得**的杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。*特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉

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