玉溪探头 宝应真空计 392 Micro-Ion Plus

MAG050 MAG060 冷阴极测量仪 - 被动
INFICON 被动冷阴极测量仪头 MAG050 和 MAG060 设计为搭配 INFICON 真空计控制器 VGC083C 使用。它们采用紧凑型金属设计，造就了适用于众多工业应用的简单而坚固的仪表。测量仪头 MAG050 采用橡胶内部密封圈，而 MAG060 测量仪头 使用金属密封圈，使压力测量处于 UHV 范围内。测量仪头组件易于拆卸和清洁，确保在长期使用中尽量减少停机时间。阳极上安装的测量仪头点火装置可缩短开启冷阴极测量仪头所需的时间。MAG050 可测量的压力低至 2 x 10-9 mbar，而 MAG060 能够测量低至 1 x 10-10 mbar 的压力。MAG050 的烘烤温度可高达 150 ℃，主要适用于不同的工业应用。MAG060 的烘烤温度可高达 250 ℃ 并能防辐射，凭借这一优势，它非常适合研发应用。
特点
从高真空到大气压的连续压力测量
大气压端的精密的相对压力测量
不需要单独的大气压力检测开关
不需要三种不同的传感器
双电离规灯丝延长了设备的无故障运行时间
自动点亮和关闭电离规
可选远程控制设**输出继电器
现在可更换规管组件
模拟量、RS-485或DeviceNet输出可供选择
可选LCD文本显示器

Edwards WRH仪表采用两种测量方法(Bayard-Alpert和Pirani)在一个紧凑的模块内，满足你所有需要测量和控制的真空系统。模拟和RS485输出可通过D-SUB连接器，2个继电器和易于校准，使控制和测量非常简单。采用所包含的软件，您可以很容易地跟踪和记录真空系统的性能，并对仪表的数据进行调整，如设置设定值或更改输出比例。WRH是许多真空系统的选择，从研发机构到质谱领域，且广泛用于一般工业。

Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压，并在到达所设定的压差值时由设**继电器激活开始工作。

Pfeiffer Active 系列真空计
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试

昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品**国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油； 产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨，不断创新改进，完善售后服务网络。我们以的产品，的质量，的价格，质的服务，愿同各界朋友互相合作，开拓美好的未来。