氮化钽靶材合成
1、将金属钽粉用氮气或氨气在1100℃左右直接氮化制得;
2、以金属钽和氮气为原料制备氮化钽,反应式如下:2Ta+N2=2TaN。
研究表明,影响氮化钽薄膜结合力的主要因素为溅射压力和加热温度,氮分压比、溅射电流为次要因素;氮分压对氮化钽薄膜的硬度影响较大
氮化钽为黑色六方结晶。相对密度为13.4,熔点为3090℃,显微硬度为1100kg/mm2,热导率为9.54W/(m·K),电阻率为128μΩ·cm
氮化钽为黄绿色结晶,属氯化钠型结晶,相对密度为15.6。晶格常数为a=0.4336nm,c=0.4150nm。熔点为2950℃,显微硬度为3200kg/mm2,转化点温度为17.8K。
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