三明表面微观形貌流程 欢迎来电

扫描隧道显微镜(STM)是-种新型的表而测试分析仪器。与SEM、TEM相比，STM具有结构简单、分辨本领高等特点,可在真空大气或液体环境下以及在实空间内进行原位动态观察样品表面的原子组态，并可直接甲于观察样品表而发生的物理或化学反应的动态过程及反应中原子的迁移过程等。5.4 射电子显微镜(TEM)

表面从本质上讲是三维的。然而，目前的绝大部分标准和测量仪器仍然是基于二维轮廓曲线的，这种二维曲线无法真实的反映表面的所有特征，由其得出的评定参数也因此无法真实地反映表面的功能特性。三维表面形貌的统计分析较具稳健性,它可以给出较小的参数偏差。实验表明，在同一表面对来自不同轮廓的参数测量，其差异可达50%。只有当表面满足各向同性和均-一性时，在任何位置和方向的轮廓才能表示表面。因为三维表面评价的优越性及表面形貌的评价正由二维向三维转变，这里介绍现对而言比较成熟的几个三维评价方法。

由于表面形貌本身的复杂性，很难用有限的参数来表征各种需要的特性。随着表面形貌研究的深入，各种不同的参数相继被提出并加入到原有的标准中，这些参数有的在内容上有交叉、重复，有的只反映非常特殊的应用情况，还有一-些参数其内在含义相互之间是矛盾的。参数的数量不断增多，形成了所谓的“参数爆炸”的局面。显然，这种情况非常不利于表面形貌评定学科的发展，给工业界实际的应用也带来了很大的困扰。这- -问题已经引起了业界广泛的重视，许多学者已经提出了各种解决方法，然而到目前为止还没有很完善的解决方案。

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