表面微观形貌内容

表面形貌评定的**在于对特征信号无失真的提取和对使用性能的量化评定，国内外学者在这一方面做了 大量工作，提出了许多分离与重构方法。随着当今微机处理技术、集成电路技术、机电一体化技术等的发展。出现了用分形法、Motif法、功能参数集法、时间序列技术分析法、小二乘多项式拟合法、滤波法等各种评定理论与方法，**了显着进展。

干涉显微测量方法:干涉显微测量方法利用光波干涉原理测量表面轮廓。与探针式测量方法不同的是,它不是单个聚焦光斑式的扫描测量，而是多采样点同时测量。干涉显微测量方法能同时测量--个面上的表面形貌，横向分辨率取决于显微镜数值孔径，一般在pum或亚pum量级;横向测量范围取决于显微镜视场，大小在mm量级:纵向分辨率取决于干涉测量方法，一般可达nm或0.1nm量级:纵向测量范围在波长量级。因此干涉显微测量方法比较适宜于测量结构单元尺寸在pum量级，表面尺寸在mm或亚m量级的微结构。

表面所具有的微观几何形状统称为表面形貌(surface topography)， 其中表面被定义为- -种材料与其它材料之间的分界面" (在工程表面的情况下，一种材料是空气，另-种为固体材料，例如金属、塑料等)。固体表面是指固体上代表实体和周围环境边界的部分。工程表面形貌代表着工件表面的主要外部特征，是由加工过程中的各种工序产生的。

表面是由粗糙度，波纹度和表面形状误差3个部分构成的。随着现代测量精度的不断提高，亚粗糙度(sub roughness)与原子粗糙度的概念已被提出来，他们的出现是对原子级微观形貌进行评价的需要。简单的通过微观不平度的数值来区分三者是不可取的，因为在概念上从粗糙度变为波纹度必须根据工件的尺寸大小来确定。上述三种特征从不单独出现，大多数表面是由粗糙度，波纹度和形状误差组合形成的。由于三者的作用不同，因此，如何正确的将三者分离就成为一个十分重要的问题。

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