该系列设备主要是(集)直流磁控溅射,中频溅射和电弧电子蒸发三种技术融合一体,结合线性离化脉冲偏压可使沉积颗料细化,膜层各项性能提高,能在金属制品及非金属表面镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。经公司技术人员多年专注研发,通过特有的阴极电弧离子和非平衡磁控系统,并开发出整套PROPOWER系列计算机自动控制系统,使镀膜膜层附着力致密度、从复度一致性好等特点,解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色不一致等问题。广泛适用于手表、手机壳、五金、洁具、餐具及要求**起硬的刀具、模具等。镀制Tin、TiCN、CrN、TiALN、TiCrN、ZrN、TiNC及各类金属石膜(DLC)。 1、 磁控溅射的原理是基于阴极辉光放电理论,把阴极表面磁场扩展到接近工件表面,提高了溅射原子离化率。既保留磁控溅射的细腻又增强了表面光泽度。 2、 电弧等离子体蒸发源性能**,在优化阴极及磁场结构镀膜时可在30A电流下工作,镀膜膜层和基底界面产生原子扩散,又具有离子束辅助沉积的特点。 型号真空室尺寸 JTZ-800 JTL-1000 JTL-1250 ¢800×1000MM ¢1000×1000MM ¢1250×1100MM 镀膜方式及主要配置 六个多弧源+一套圆柱靶+一套平面矩形磁控溅射靶 八个多弧源+一对孪生(中频)磁控溅射靶+一套平面矩形磁控溅射靶 十二个多弧源+一对孪生(中频)磁控溅射靶+两套平面矩形磁控溅射靶 镀膜方式及主要配置 电弧电源、直流磁控电源、中频磁控电源、灯丝电源、脉冲电源、线性离化源 工艺气体控制 质量流量计+电磁陶瓷阀 真空室结构 立式侧(单)开门结构,后置抽气系统,双层水冷 真空系统组成 分子泵+罗茨泵+机械泵(5.0×10-4PA) 工件烘烤温度 常温到500度可调可控(PID控温),辐射加热 工件运动方式 公自转变频调速,0~20转/分 测量方式 数显复合真空计:测量范围从大气至1.0×10-5PA 控制方式 手动/自动/PC/PLC+HMI/PC四种方式可选 备注 以上设备可按客户实际及特殊工艺要求设计订做
广东东莞汇成真空科技有限公司是一家专门从事各种真空应用设备类的研发、生产和销售为一体的民营高科技企业。公司目前拥有员工130余人,其中高、中级以上技术职称人员35人,公司还聘请了国内真空行业*的*及技术人员,专门负责公司真空设备新产品的研发与设计,确保真空设备产品的高技术、**。公司拥有一支*的营销团队,同时建立了**的售后队伍,解决设备在使用过程中遇到的各类疑难问题,免除客户的后顾之忧。本着环保为宗旨,公司发展再上一个新台阶,已将其设备销向东南亚,中东,欧美等地区。 本公司在真空应用领域已拥有较高的声誉,尤其在手机(电脑)外壳、电子电器、金属制品、汽车配件及高新科技产业方面,已成功地为客户开发出满足各种不同要求的镀膜工艺方案。2007年上半年公司又进入一个新的里程,由本公司为浙江省****企业设计的特制汽车轮毂镀膜生产设备成功投入使用,为客户带来了重大效益,为绿色环保做出了**贡献,产生了较大的社会效应。受到浙江省**及**业的高度重视和赞赏,并被列入地区星火计划项目。此大型设备在国内镀膜设备中目前已处良好水平。 公司本着以人为本、精益求精、**务实、顾客至上为经营理念,以科技良好,品质和服务创**的管理为方针。发挥“诚信*,团结拼搏,求实**”的企业精神,继续以发展和提升为主旋律,向多元化、**化、高科技型现代企业的目标前进. 为真空应用设备创****水平做出新的贡献。