湖南全自动片盒清洗机规格尺寸 江苏芯梦半导体设备供应

优点

装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒一或不同晶圆尺寸的花和片盒，同时可装载晶圆直径至300mm的**开口片盒(Foup片盒)三种设备尺寸满足客户特殊需求

CleanStepl-用于4组花篮和片盒加载和清洗能力:每次4组花和片盒清洗产能:每小时12组花篮和片盒、>、CleanStepll-用于8组花篮和片盒加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒清洗产能:每小时24组花篮和片盒

CleanStepIl-用于6组**开口片盒(Foup)加载和清洗能力:每次6组**开口片盒(Fup片盒)清洗产能:每小时18组**开门片盒(Foup片盒)

适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼(CleanstepI/II)

适用于所有片盒一次清洗过程

或是同时4组花篮和片盒，或是12个花跨(CleanstepI/II)

简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换

旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒

通过控制系统对自锁装置的检测，达到安全加载片盒和花篮，、 选择我司设备，让你的生产较加灵活、多样化！湖南全自动片盒清洗机规格尺寸

在FOUP内去除颗粒物的方法可以采取多种措施，以下是一些常见的方法：喷气清洗：使用压缩空气或氮气等气流，通过喷射到FOUP内部，将颗粒物从FOUP表面吹走。喷气清洗可以通过喷嘴、喷气等设备来实现，通常结合定向气流和适当的气流速度，以有效地去除颗粒物。超声波清洗：超声波清洗是一种利用高频声波震动的方法，可以将FOUP内的颗粒物从表面剥离。超声波的震动作用可以在微小的尺度上产生冲击波，从而破坏颗粒物与FOUP表面的附着力，使其脱落。湿拭清洗：湿拭清洗使用湿润的擦拭布或棉签等工具，直接擦拭FOUP的表面，将颗粒物吸附到擦拭物上。这种方法适用于较大或较粘附的颗粒物，可以通过多次擦拭和更换擦拭物来提高清洁效果。静电除尘：由于FOUP的材料通常具有一定的静电特性，可以利用静电除尘技术去除颗粒物。静电除尘通常通过在FOUP内部放置静电除尘装置，利用静电作用将颗粒物吸附到带电的部件上，然后移除这些带电部件以去除颗粒物。过滤器和过滤介质：在FOUP的设计中，可以使用过滤器和过滤介质来阻止颗粒物进入FOUP内部。这些过滤器通常位于FOUP的入口和出口处，以过滤空气中的固体颗粒和其他污染物，从而减少FOUP内的颗粒物数量。江西半自动花篮清洗机联系人购买晶圆盒清洗机推荐您选择江苏芯梦半导体设备有限公司！

产品说明 

8-12 Inch 单片晶圆dry-in/dry-out清洗平台，适用于**封装制程的particle、**、无机、助焊剂等污染物清洗。可选配二流体、megasonic、**高压喷洗、RCA 、Hot water及蒸气等清洗方式，清洗工艺窗口宽，清洗能力强，占地面积小，*等特点。

功能说明

制程均匀度可用 recipe 调控。

良率** wet bench type。

单片模式之机况可控制可追溯。

制程个别参数易于调整。

可控制之药液量使用,能保持每片芯片之相同制程环境。

洁净度控制**批次生产。

Footprint 较小。

适用于 wafer dry in / dry out制程。

机台之安全性** bench type。

为未来湿式高阶设备之主流机台。

全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）[1]:适用场景：用DIW/**溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点：清洗对象：6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、**溶剂清洗系统（可选）等机构组成。清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）。干进干出。人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测。可预设多条Recipe，操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 江苏芯梦的设备具有多种智能功能，助你轻松应对生产挑战！

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥

设备特点：

1、清洗对象：12寸FOUP

2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成

3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）

4、干进干出；

5、可与AMHS对接、可人工上料；

6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；

7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可预设多条Recipe,操作简洁；

9、选配SECS/GEM接口；

10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；

11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 快来体验这款产品带来的惊喜吧！中国闽台全自动片盒清洗机怎么收费

芯梦设备具有高精度生产功能，确保产品质量！湖南全自动片盒清洗机规格尺寸

全自动FOUP清洗机具有以下特点：完全自动化：全自动FOUP清洗机是以完全自动化的方式进行清洗。它通常配备了自动上料、清洗、烘干、卸料等功能，可以在一个连续的工作流程中完成整个清洗过程。操作员只需将FOUP放置到设备中，并设置相应的清洗参数，清洗机会自动完成后续的操作。高效率：全自动FOUP清洗机通常具有高清洗效率。由于自动化的特性，全自动设备可以实现高速、连续的操作，提高了清洗的效率和生产能力。它们可以在较短的时间内处理多个FOUP，并具有较高的清洗一致性和稳定性。多功能性：全自动FOUP清洗机通常具备多种功能和选项，以满足不同的清洗需求。它们可能具有多种清洗程序，例如预洗、主洗、漂洗等，以及不同的清洗介质选择、温度和时间控制等。这使得全自动清洗机能够灵活适应不同类型的FOUP和不同的清洗要求。自动监测和控制：全自动FOUP清洗机通常配备了自动监测和控制系统，以确保清洗过程的准确性和一致性。它们可能配备温度、压力、流量等传感器，以实时监测清洗过程中的参数，并根据设定的标准进行自动调整和控制节约资源：全自动FOUP清洗机通常设计为节约资源的设备。它们可能采用高效的清洗介质循环系统。湖南全自动片盒清洗机规格尺寸

江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供晶圆制造、集成电路制造、**封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展，现有员工人数近300人，其中40%为技术研发人员，近3年营收复合增长率****。江苏芯梦始终坚持创新，不断攀登半导体湿法装备技术高峰，*的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内；*的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断，并已进入国内半导体企业应用。

江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护，并获得了国家**企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在*角兽企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。