FOUP清洗机特性:可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes 及其他可装载于清洗篮之制品。伺服马达驱动,设有扭力侦测安全机构,防止人为误操作造成损坏及危险。具备停机自动归位功能,方便装载清洗制品。旋干制程中除IR干燥外,运用气流干燥,可加速去除较大水滴,增进干燥效果; 进而提升效率。
应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
分类:
全自动FOUP清洗机、半自动foup清洗机。
4寸~12寸全尺寸兼容,快速实现干进干出,30~60分钟完成1次清洗工艺节拍,较大吞吐量 江苏省晶圆盒清洗机哪家靠谱就选江苏芯梦半导体设备有限公司!湖南半自动FOSB清洗机联系人
我们的FOUP清洗机具有多项安全性能设计,以确保在使用过程中尽可能地降低风险和保护操作人员的安全。以下是我们清洗机的安全性能介绍:
DBPS动平衡保护;
WirelessSensorfool-proofProtectionSystem;
无线传感器保护系统;
LPLPS防漏液保护;
LLPS液位防护;
Hightemperatureinterlockcontrolprotection高温联锁控制防护;
Interlockprotectionofelectriccabinet内置门电控箱联锁防护;
WindPressureProtection风压防护;
Cassette表面保护 湖北晶圆盒清洗机报价芯梦的设备节能,符合现代的生产理念,助你降低成本!
产品介绍:
全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。
设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。
配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,
保证制程的高精度清洗需求。
配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。
1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。
2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。
3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。
应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
辅助功能和操作控制
触摸屏安装在**一标准化
也可以通过安装*二个触摸屏在背面进行控制一选项
其他特征
工艺腔室内LED灯光照明
可安装去静电装置和电阳率监测装置选项
稳定、亚光不锈钢笼子
材料的外壳一可选择符合FM4910标准
PP材料的工艺腔室一可选择符合FM4910标准
设备**带有滑动门一标准化为手动/可选择自动
设备**的滑动门在做维护时可完全打开
其他种类的花篮和片盒相适应的组件一选项图形化的界面
易于操作和控制
10“触摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
芯梦设备操作简便,维护方便,降低你的生产成本!产品介绍:全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。(Option)1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。芯梦半导体为您量身打造专业清洗解决方案!片盒清洗机哪家便宜
芯梦设备配备快速调整功能,适应不同使用场景!湖南半自动FOSB清洗机联系人
我们提供各种半导体片盒、FOUP、FOSB清洁方案客户定制清洗方案做到360度无死角清洗,并防止细菌滋生专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现**微精密清洗,节能设计;高效干燥技术,AMC化合物去除技术全生产过程实时监控,兼容自动传输系统(AMHS);SEMI通讯标准兼容GEM300,符合SEMIS2、S8标准高产量,占地面积设计。
我们的晶圆盒清洗机采用智能化设计,结构紧凑,占用空间小,适合各种生产场景。外观精美,质感上乘,提升了生产品质。同时,我们的晶圆盒清洗机具有多种智能功能,能够自动识别晶圆盒类型,自动调整清洗和干燥的参数,保证清洗和干燥的效果稳定可靠。操作简单,维护方便,降低使用成本。选择我们的晶圆盒清洗机,让您的晶圆生产较加智能化、便捷!
湖南半自动FOSB清洗机联系人芯梦拥有近12000平米的研发生产基地,包括**过3000平米的千级洁净室和万级装配车间,配备有精密的研发检测仪器设备。芯梦的创始团队成员均为半导体装备领域从业数十年的专业人才,目前芯梦已经建立了一支多学科交叉、实力雄厚的技术研发团队,目前公司拥有员工总数290余人,其中技术研发人员90余人,售后服务人员近40人。我们高度重视知识产权保护,主营产品已获得数十项授权**,包括近20件授权发明**,并通过了知识产权管理体系认证。
江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供晶圆制造、集成电路制造、**封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。 江苏芯梦成立三年来高速发展,现有员工人数近300人,其中40%为技术研发人员,近3年营收复合增长率****。江苏芯梦始终坚持创新,不断攀登半导体湿法装备技术高峰,*的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;*的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断,并已进入国内半导体企业应用。 江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护,并获得了国家**企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在*角兽企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。