AC200-SE程控伺服型匀胶机

AC200-SE程控伺服型匀胶机

产品性能：

◆ 两种型号可选：AC200-SE(标准型)、AC200-PE(**型)

◆较新的内部紧凑设计，缩小设备尺寸

◆7"触屏控制面板操作系统，较方便操作

◆Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计适合各种材料匀胶工艺

◆标准配置转速10000rpm，可根据用户需要进行定制

◆工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

◆机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用耐腐蚀HDPE材料

◆排风和抽气系统位计于载片台底部(以利于排风效率和匀胶均一性)

◆透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发

技术参数：

● 旋涂程序：较多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

●转动速度：0-10,000rpm(较高速可选)

●旋涂加速度：0-50,000rpm/sec(空载)

●马达旋涂转速稳定性能误差：< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE)

●转速调节精度及重复性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)

●具有真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

●工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec

●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圆晶)

●旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

产品外型尺寸：

●433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构

●306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构(适于嵌入式手套箱或工作台内)

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