主要特点: 1. 采用新的内置电源系统,取消了原系统中的power module机箱。 2. 将原系统中所有的控制电路板取消,重新设计整合成为三块电路板。整体结构较加紧凑,设备占用空间小,同时新系统还在I/O信号检测、平面电机控制、设备状态显示等方面做了重新设计,大大降低了整体维护成本。 3. XYZ方向运动速率采用**的S-Curve算法控制Chuck运动,XY方向可以由用户根据需要自行编制控制曲线,Z轴方向行程高度可以设置调整,增强了系统的可操控性。探针触点的缓冲接触,避免了wafer损伤或接触不良等情形的发生。 4. 保留了平面电机系统气浮轴承无摩擦、启停*、运行稳定、**、噪音小、维护方便和**命等优点。 5. 配合PC 机和操作软件,能够完成测试、打点、离线mapping、数据输出等各种功能,可以很好地应用于中小规模IC、半导体分立器件,特别是LED等**器件的参数测试。与AW-PCM测试系统连接,可用于工艺控制数据的采集和分析。
南京奥威天长半导体技术有限公司是一家中美合资的**半导体测试与技术服务公司。公司拥有广泛的采购网络、强大的**设备服务队伍、**的质量检验检测手段和**良好的软件开发和升级技术。 南京奥威主要从事PCM测试相关软件的开发和工艺线系统集成,公司同时可为客户提供EG1034/2001/2010,WENTWORTH MP2020等探针台,HP/Agilent公司的HP4062UX/HP4142B/HP4145/HP4084/HP4085/HP427**/HP4280/HP8772 测试仪和Keithley公司S900A/S280/S350测试仪,STS 310/PTI 790/Oxford 80 等离子体增强化学气相淀积设备,STS 320/ PTI 790/PTI 730/xford100反应离子刻蚀设备和STS ICP/ PTI ICP/ Oxford ICP电感耦合等离子体刻蚀等各类进口半导体仪器、设备及备品备件、软件升级开发和相关售后服务工作。公司一贯以高质量的产品、**的服务、合理的价格来满足各类客户需求。