北京国产蒸镀机 苏州方昇光电供应

蒸镀机的基本原理：（1）加热蒸发过程：包括由凝聚相转变为气相的过程，每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压，北京国产蒸镀机。（2）气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输，即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。（3）蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发，凝聚，成核，核生长，形成连续的膜。由于基板温度远**蒸发源温度，因此，气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）是在真空条件下，加热蒸发容器中待蒸发的材料，使其原子或分子从表面气化逸出，北京国产蒸镀机，北京国产蒸镀机，形成蒸汽流，入社到衬底或基底表面，凝结成固态薄膜的方法。真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性，基片干净很重要。北京国产蒸镀机

真空镀膜机扩散泵维修与保养：扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在良好状态，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。4、扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。福建热蒸镀机真空镀膜机中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。

真空镀膜机的保养：真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上，抽速会明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。但是，需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的，因此，为了尽量减小材料表面灰尘的前提下，真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。（1）真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；（2）规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；（3）严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；（4）源材料符合必要的纯度要求；（5）保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；（6）降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。真空镀膜机的结构焊缝不应与密封焊缝相交叉。

真空镀膜机的维修方法介绍：当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）；2、坩埚被打穿（更换坩埚）；3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）；4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）；8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）；9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）。真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。兰州全自动蒸镀机生产厂家

真空镀膜机在镀膜的时候，需要镀层表面的化学成分保持均匀性。北京国产蒸镀机

真空镀膜机成膜不均的因素有哪些？真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性，基片干净很重要。真空镀膜前要将基片表面认真清洁干净，达到工件去油、去污和脱水的目的。基板表面污染从零件在加工，运输等过程中附着的各种各样的灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等，在潮湿环境下，基片表面易氧化，形成氧化膜吸附气体。对于这些污物，都能用去油或化学方法清洗干净。干净的基片不要直接放在外面，需要用封闭容器存放，减少沾污。镀膜室内也是会积灰的，所以要清洗镀膜室内，烘烤除气，并将机器放置在干净的环境里。注意扩散泵返油，镀膜的原材料有很多，如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等，辅料、配方的比列有所不同，薄膜也不同。北京国产蒸镀机

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