真空镀膜机扩散泵维修与保养:扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态,平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。1、扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时,金属蒸镀机生产商,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。4、扩散泵如暂时不用,金属蒸镀机生产商,金属蒸镀机生产商,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。降低真空镀膜设备室内空气流动性低、需尽量减小室外灰尘侵入。金属蒸镀机生产商
真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能*特等优点。蒸镀的物理过程包括:沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内,以电阻、电子束、激光等方法加热膜料,使膜料蒸发或升华,气化为具有一定能量(0.1~0.3eV)的粒子(原子、分子或原子团)。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片,到达基片表面的粒子一部分被反射,另一部分吸附在基片上并发生表面扩散,沉积原子之间产生二维碰撞,形成簇团,有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞,或吸附单粒子,或放出单粒子。此过程反复进行,当聚集的粒子数**过某一临界值时就变为稳定的核,再继续吸附扩散粒子而逐步长大,然后通过相邻稳定核的接触、合并,形成连续薄膜。金属蒸镀机生产商真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。
真空镀膜机镀膜技术在工业中的应用:采用真空镀膜技术代替传统的电镀技术,不仅可以节省大量的薄膜材料,降低能源消耗,而且可以消除湿法镀膜对环境的污染。因此,国外已采用真空镀膜工艺代替电镀工艺。在冶金工业中,对钢和带钢添加渗铝保护层是很常见的。在机械制造中,真空镀膜技术改变了一定的加工工艺,节省了宝贵的原材料,如飞机涡轮发动机叶片没有昂贵的高温金属制造,而是使用廉价的材料,成型后再采用真空镀膜的方法在叶片表面涂上耐高温、耐腐蚀的保护层。例如,在汽车制造行业,使用塑料制品的金属化零件代替各种金属零件,这样不仅减轻了汽车的重量,而且节省了燃料的消耗。在金属刀具上添加TiN硬膜可使刀具寿命提高3~6倍,从而节省大量高速钢。塑料薄膜采用真空镀膜和镀铝等金属薄膜的方法,然后染色,可用于工业装饰薄膜。
真空蒸镀使用的加热方式主要有:(1)电阻加热:电阻加热源是普遍使用的蒸发源,它结构简单、操作方便。典型的导电加热体材料有钨、钽、钼和碳等。导电加热体的电阻加热通常采用低电压(<10V)、大电流(几百安培)加热方式。可根据蒸发材料的性质以及蒸发源材料的浸润性加以选用。(2)电子束加热:电子束加热法的基本原理是基于由热阴极**的电子在电场作用下,获得动能轰击到作为阳极的蒸发材料上,将其动能转化为加热材料的内能而使材料蒸发。由于聚集电子束的能量密度大,可使材料表面局部区域达到3000℃~4000℃的高温,适于蒸发高熔点金属、化合物材料和要求高蒸发速率的场合。(3)射频感应加热:感应加热是将射频电源的能量直接耦合到金属、石墨一类的导体上,其原理是利用高频电磁场在导体材料中感生的热量来直接加热导体本身。真空镀膜机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜,包括真空离子蒸发、PLD激光溅射沉积等多种。
真空镀膜机镀膜前的清洗:真空加热清洗,将工件放置于常压或真空中加热。促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的,这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件。促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在**高真空下,为了得到原子级清洁表面,加热温度必**450度才行。加热清洗方法特别有效。但有时,这种处理方法也会产生副作用。由于加热的结果,可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒,并同时分解成碳渣。冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机的温度,使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。半导体蒸镀机设备厂家直销
注意真空镀膜机本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。金属蒸镀机生产商
真空镀膜机的优势主要体现在:1、外观改善,表面光滑,有色金属光泽,装饰性提高;2、提高表面硬度。原来的塑料表面比金属柔软,容易损坏。通过真空镀膜,硬度和耐磨性提高;3、提高耐候性。一般来说,塑料在户外老化很快,主要是由于紫外线辐射。镀铝后,铝对紫外线的反射较强。因此,耐候性提高;4、使得吸水率降低,涂布次数越多,吸水率越低,且制品不易变形,耐热性提高;5、使得塑料表面具有导电性;6、*吸尘即可以轻松清洁。金属蒸镀机生产商
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