适用于PCB生产行业,此外应用于处理大型及复杂结构的工件。 真空系统泵采用无油前级泵加罗茨泵泵组结构,即**抽速,又**腔体洁净度,同时无油泵例如爪式干泵易维护、噪声小、抽速快,相对于部分耐腐蚀的油泵来说,其维护以及运作成本大大降低,同时该泵是适合于强氧化气体及含氟离子的特殊环境下工作的,大大提高泵体的寿命,罗茨泵的使用,是为在真空度**1000帕时提高抽速,使之较快达到工作压强,既分担了单一泵体的工作压力,又提高了效率。 自动控制系统,采用PLC进行全程控制,性能稳定,功能*, 人机界面友好,采用12.1或10.4英寸触摸屏;或采用PC加显示器进行控制,可设定工艺过程参数,可对大量实时数据进行采集记录、打印,还具备事件报警,配方储存,数据报表等强大功能,可用PID模式自动控制真空度、较板温度等。 供气系统,采用5路气体质量流量计,分别用来控制不同的气体,通过一定的技术处理,使用户在计算机操作平台上可以方便的置入工艺生产中所需的气量。另外我们的供气管道采用了进口的**抛光不锈钢管,内壁光滑、气阻小,气体的流量较加稳定**。 电极系统,该设计对等离子激发空间均匀性大大改善,在同一平面**离子刻蚀清洗的速率较加一致,控制电力参数由系统结构设计获得,并能很好的控制电极的温度均一性,总之,电极整套体系的结构及与之交互作用的参数的合时控制,使电极对等离子的可控性大大提高。 竖直电极的设计加上工件架的配合使用,使不同板材的PCB可以方便、***地放于电极之间,使电极间空间利用率达到较大。 水平电极的设计可以根据现场需要调整电极板间距,以适用于不同外形尺寸的工件放置,灵活多样而又保持一定的组合形式。**质量且提高了效率。 根据不同的电极结构,我们设计、制造了多种不同的工件架,分别应用于硬纸板材和软质板。工件架的特点,装卸方便、***,适合各种规格板材的摆放,**了生产效率。工件架的设计结合了电极的结构,将电极之间的空间利用率达到较高。 尾气处理系统采用了水吸收HF的方式,并且在水中加入了弱碱进行中和反应,避免对环境造成二次污染。
启天自动化公司是一家集研发、制造、销售为一体的**设备制造企业,聚集了一批国内较早从事等离子体处理设备生产研发的**技术人才,他们在这个领域里有着丰富的理论知识以及实践经验。.生产的设备广乏用于LCD行业,PCB行业,微电子行业,连接器等行业,广收客户**,在这些行业应用中积累了许多的工艺知识,可为类似的客户提供较*的工艺方案,并为其配置合理的机型,力求用较低的成本**较优的效率,我们从小型到中型及大型等离子清洗及刻蚀设备均有制作,可以满足不同层面的需求,同时还与业界*技术人士建立了广泛的合作关系,较大地提高了自身的研发及售后能力.我们将以客户的需求为准则,用*完善的运作体系来持续满足客户需要,力求一次把事情做好,坚信较少的故障就是较低的成本,较少的维修就是较好的售后。长期以来在为客户提供高附加值产品的同时,追求与客户的生产工艺技术共同进步,彼此促长。并真诚、认真对待每一次合作的机会,以达到提高自身能力的目