管式炉主要运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业,测定材料在一定气温条件下的设备。炉型结构简单,操作容易,便于控制,能连续生产。
管式炉均系采用**技术研制开发的**高节能的新型电炉,有、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
河南奥菲达仪器系列开启式真空气氛管式炉,适用于各类大专院校实验室、工矿企业化验室,供化学分析、煤质分析、物理测定以及金属、陶瓷的烧结和溶解、小型工件等的加热、焙烧、烘干、及气氛保护下热处理用。
管式加热炉体
石英反应腔室 根据需求选择不同直径的石英管作为反应室。有Φ40,Φ60,Φ80,Φ100,Φ120,Φ150等规格可选。
真空系统 根据需求选择不同真空效果的真空系统。有DZK10-1(极限真空0.1Pa),GZK10-3(极限真空0.001Pa),以及进口高真空机组(极限真空0.0001Pa)供选择。
质子流量供气系统 根据需求选择多路质子流量供气系统。有两路GQ-2Z,三路GQ-2Z,四路GQ-2Z,五路GQ-2Z或更多路供选择。
射频等离子源 根据需求选择强度不同的射频电源。有DLZ300(300W),DLZ500(500W)或较大功率的射频电源供选择。
常见PECVD系统组合 1. 1200度60滑轨式微型管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,300W射频电源
AFD1200-60S-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ300
2. 1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
3. 1200度60双温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60II-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
4. 1200度60三温区滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60III-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
5. 1200度60微型预热炉,1200度60滑轨式管式炉,低真空系统,四路质子流量供气系统,500W射频电源
AFD1200-60S,MXG1200-60-SL,DZK10-1,GQ-4Z,DLZ500
PECVD系统 等离子体化学气相沉积系统
窗体底端
PECVD系统
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气相沉积法。
本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
本设备主要由管式加热炉体,真空系统,质子流量供气系统,射频等离子源,石英反应腔室等部件组成。
主要特点:
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度较低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
管式炉,旋转管式炉是河南奥菲达仪器新研发的一种新型电炉,主要运用于冶金,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的设备。
如果您需要保持物料的单颗粒结构(如在干燥或煅烧物料时),旋转管式炉是您的选择。持续不断的管旋转运动和保护气的应用将为您带来的处理结果。
本系列均系本公司采用**技术,自行研制开发的**高节能的新型电炉,主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。
管式电炉特点
1、控制精度:±1℃ 炉温均匀度:±1℃(根据加热室大小而定) 。
2、微电脑控制,操作方便,可编程,自动升温、自动保温、自动降温。
3、炉管采用刚玉99陶瓷。
4、不锈钢金属法兰密封(双胶圈)
5、炉体经精致喷塑耐腐蚀耐酸碱,炉体与炉膛隔离采用风冷炉壁温度接近室温 6、双回路保护(**温、**压、**流、段偶、断电等)
7、进口耐火材料,保温性能好,耐温高
8、真空表真空度 0至负0.1Mpa
9、电炉可通多种气体(氧气、氮气、氩气、氢气等)
10、温度类别:1000℃ 1400℃ 1600℃ 1700℃ 四种
11、本产品采用可靠的集成化电路,工作环境好,抗干扰
河南奥菲达仪器设备有限公司是一家集研制、开发、生产和销售为一体的专业生产企业,主营:马弗炉、管式炉,高温炉、真空管式炉 气氛管式炉 箱式气氛炉 陶瓷纤维马弗炉 熔块炉 非标高温炉 氧化锆烧结炉 硅碳棒烧结炉总部位于中国郑州,公司现有研发人员100多人,其中具有博士学位的5人,研究生20余人,具有中级以上职称40多人。 公司拥有专业的技术生产,高科技的设备,高素质的人才,开启了公司销售业绩一次一次的增长。在经营过程中以优良的职业道德、商业信誉、高质量的产品、完善的售后服务赢得了广大用户的信赖和支持。 公司产品遍布于大专院校、科研单位、生物/化工/制药、医疗、检验、**、食品、饮料、超市、冶金矿山、石油勘探等各行各业,产品以其**的性能,快捷周到的售后服务,物**所值的价格,**全国几十个省、市,并**世界各地,受到国内外客商的**。在生产过程中严格执行产品制造要求,建立了一套完整的质量管理体系,使产品质量具有可靠的保证。已**ISO9001:2000**质量管理体系认证。 在生产和销售过程中,我们秉承“创新、专业、高质”的质量方针,一直致力于产品的研发创新;在功能设计、能量数据、用料选择、安全性能等每一个过程都严格要求,在人员配置上,公司拥有专业的技术服务人员、工程师、售后服务人员,形成一支高素质较富团队创新精神的队伍。公司奉行“客户满意是人较大的收获”的服务观,积极研制开发新产品、结交新客户,竭诚为客户提供优质的产品和较快捷的服务。欢迎国内外新老客户光临,互利互惠、携手并进!