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    *二保管部20b和*二交接端口30b配置于*二保管区域sa2。*1保管部20a和*1交接端口30a配置于*1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。*二保管部20b和*二交接端口30b配置于*二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。*1保管部20a和*1交接端口30a配置于在*1区段内顶棚轨道11能够通过后述的*1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。*二保管部20b和*二交接端口30b配置于在*二区段内顶棚轨道12能够通过后述的*二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、*二保管区域sa1、sa2的第1、*二保管部20a、20b和第1、*二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、*二保管部20a、20b和第1、*二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，第1、*二保管部20a、20b和*1，徐州真空搬运机、*二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各第1、*二保管部20a、20b和第1、*二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态，徐州真空搬运机。第1、*二保管部20a、20b和第1、*二交接端口30a，徐州真空搬运机、30b从顶棚悬挂。溧水区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！徐州真空搬运机

    由此在第1、*二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、*二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、*二保管部20a、20b在各个第1、*二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、*二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。*1保管部20a配置于相对于*1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。*二保管部20b配置于相对于*二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、*二保管区域sa1、sa2中，第1、*二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、*二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、*二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。*1交接端口30a设置于*1保管部20a的列。*二交接端口30b设置于*二保管部20b的列。第1、*二交接端口30a、30b具有与第1、*二保管部20a、20b相同的结构，第1、*二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、*二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。铜山区真空搬运机有几种溧水区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    各子吸盘下端面相平，所述子吸盘包括气罩，所述气罩上端与密封腔连通，所述气罩下端密封设置有皮套。进一步地，所述皮套中间位置连接有向上的拉杆，所述气罩上端与拉杆对应位置处开有导向孔，所述气罩上环绕导向孔还环绕设置有2-6个气孔，所述气孔下端外侧还设置有缓冲环，所述拉杆上还设置有挡板，挡板随拉杆上升时能够与缓冲环密封，所述拉杆上端还设置有限位环。进一步地，所述皮套中间位置设置有夹板，所述拉杆与夹板相连。进一步地，所述挡板截面为向下的锥形。进一步地，所述密封腔的上壁和下壁之间设置有3-6根支撑杆。进一步地，所述气罩靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积。本实用新型的有益效果在于：增加子吸盘，子吸盘包括气罩，所述气罩上端与密封腔连通，所述气罩下端密封设置有皮套，任一个子吸盘吸附石板均能够为石板提供支撑；设置皮套能够**不与石板密封的子吸盘不漏气；设置拉杆、导向孔、挡板、限位环、气孔、缓冲环，能够有效的限制皮套的变形量，在**真空吸力的情况下避免拉坏皮套，提高使用寿命；设置夹板，能够提高皮套的受力面积，**皮套使用寿命；设置支撑杆，能够防止密封腔变形。附图说明图1为真空吸吊机结构图示意图。

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本*5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此*地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：*1区段内顶棚轨道，其从*1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着*1处理装置的装载端口设置；*二区段内顶棚轨道。雨花台区糖袋真空搬运机推荐厂家！

    并在与作为搬运目的地的*二交接端口30b对应的位置停止。接着，高架搬运车50使横向伸出机构55向+x方向或者-x方向**，驱动升降驱动部54并通过保持部53将物品2载置于*二交接端口30b。通过以上的动作，能够将物品2从*1保管区域sa1搬运至*二保管区域sa2。此外，在上述的实施方式中，示出将物品2在*1保管区域sa1与*二保管区域sa2之间进行搬运的例子，但通过与上述相同的动作能够将物品2也在*1保管区域sa1与其他保管区域之间、或者在*二保管区域sa2与其他保管区域之间进行搬运。另外，载置于其他保管区域的交接端口的物品2被存在于该保管区域的起重机搬运至保管部或者处理装置的装载端口这点如上所述。如上所述，根据本实施方式所涉及的搬运系统100，第1、*二起重机40a、40b能够边行驶边使第1、*二升降台43a、43b升降，因此与**在停止后使保持部53升降的高架搬运车50相比，物品2的移送所需要的时间较短，能够使区段内(第1、*二保管区域sa1、sa2内)的物品2的搬运效率提高。并且，通过第1、*二起重机40a、40b进行区段内的物品2的搬运，从而能够使物品2的保管数量增加。另外，高架搬运车50不具有第1、*二起重机40a、40b的第1、*二桅杆42a、42b那样的垂下的部件。六合区糖袋真空搬运机推荐厂家！徐州真空搬运机

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    并且沿着装载端口lp设置。*1区段内顶棚轨道11是以包围*1保管区域sa1的方式配置为环状的环绕轨道，*二区段内顶棚轨道12是以包围*二保管区域sa2的方式配置为环状的环绕轨道，但并不限定于该结构。*1区段内顶棚轨道11具有直线部11a和循环部11b。直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于*1保管区域sa1与隔着*1保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。*二区段内顶棚轨道12与*1区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于*二保管区域sa2与隔着*二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部12a彼此连接。此外，在本实施方式中，示出*1区段内顶棚轨道11与*二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子，但*1区段内顶棚轨道11与*二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。*1区段间顶棚轨道13和*二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。徐州真空搬运机

上海劲容自动化设备有限公司，成立于2009年，公司*生产气管吸吊机、助力机械手、助力搬运设备等一系列真空设备。公司自成立以来一直致力于工业自动化，真空搬运，物料输送等领域的产品研发、制造和销售，公司秉承“优l良、*、*”的经营理念，致力于为客户提供高质量的产品，可行的解决方案以及完善而良好的售后服务，以真诚的态度，与客户共同发展。公司崇尚科技，倡导诚信，恪求**，视人才为公司宝贵的财富，把企业团队的整体素质与协作精神看作公司进步的源动力所在。