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    并使转动部件围绕上下方向的轴进行转动。转动部通过来自转动驱动部的驱动力而转动，能够使升降驱动部54或者保持部53围绕上下方向的轴进行转动。通过该转动部能够将被保持部53保持的物品2的朝向改变。此外，高架搬运车50也可以不具备转动部。图6是表示第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51的一个例子的图。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51例如采用共用的结构(同一结构或者大致同一结构)。另外，对于顶棚轨道10中的第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14而言，与行驶方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51中的任一者均能够行驶。这样，由于第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51共用，因此无需按照其他结构制造第1、第二行驶部41a、41b与行驶部51，能够减少第1，新沂牛皮袋真空搬运机生产厂家、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的制造成本。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51具有：多个车轮71a，它们与顶棚轨道10的下方的内表面抵接；和行驶部主体71b，其安装有上述多个车轮71a，新沂牛皮袋真空搬运机生产厂家。行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部，新沂牛皮袋真空搬运机生产厂家、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。栖霞区粉尘真空搬运机推荐厂家！新沂牛皮袋真空搬运机生产厂家

    并在第二处理装置tl2的装载端口lp、第二保管部20b、以及第二交接端口30b之间搬运物品2。例如，在通过高架搬运车50将物品2载置于第1交接端口30a或者第二交接端口30b的情况下，第1起重机40a能够移动至第1交接端口30a而通过第1移送部44a(参照图4)接收物品2，第二起重机40b能够移动至第二交接端口30b而通过第二移送部44b(参照图4)接收物品2。其后，第1起重机40a能够行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a，将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1保管部20a。另外，第1起重机40a能够通过第1移送部44a接收被第1保管部20a保管的物品2，行驶至第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a，通过第1移送部44a将物品2载置于第1处理装置tl1的装载端口lp或者第1交接端口30a。第二起重机40b能够行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b，将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二保管部20b。另外，第二起重机40b能够通过第二移送部44b接收被第二保管部20b保管的物品2，行驶至第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b，通过第二移送部44b将物品2载置于第二处理装置tl2的装载端口lp或者第二交接端口30b。另外。泉山区工业真空搬运机哪家有浦口区象鼻子真空搬运机推荐厂家！

    并成为从第1、第二行驶部41a、41b悬挂的状态。例如可以使用螺钉和螺母等紧固部件，也可以使用焊接等在上部支承体47安装第1、第二桅杆42a、42b。此外，第1、第二桅杆42a、42b可以是一根，例如，可以分别设置于第1、第二行驶部41a、41b的行驶方向的前后。另外，第1、第二起重机40a、40b使用两台第1、第二行驶部41a、41b(参照图2和图3)。两台第1、第二行驶部41a、41b沿行驶方向排列配置，被上部支承体47连结。第1、第二桅杆42a、42b被两台第1、第二行驶部41a、41b支承。这样，能够利用两台第1、第二行驶部41a、41b可靠地支承作为重物的第1、第二桅杆42a、42b。此外，第1、第二起重机40a、40b并不限定于使用两台第1、第二行驶部41a、41b，也可以使用1台或者3台以上的第1、第二行驶部41a、41b。第1起重机40a的第1行驶部41a能够从第1区段内顶棚轨道11驶入区段间顶棚轨道地进行行驶。即，第1行驶部41a能够从第1区段内顶棚轨道11经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16驶入第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14地进行行驶。第二起重机40b的第二行驶部41b能够从第二区段内顶棚轨道12驶入区段间顶棚轨道地进行行驶。即。

本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。溧水区象鼻子真空搬运机推荐厂家！

第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。江宁区糖袋真空搬运机推荐厂家！泉山区工业真空搬运机哪家有

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    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、第二保管部20a、20b在各个第1、第二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、第二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。第1保管部20a配置于相对于第1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、第二保管区域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。第1交接端口30a设置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有与第1、第二保管部20a、20b相同的结构，第1、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。新沂牛皮袋真空搬运机生产厂家

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