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本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)，江宁区米袋真空搬运机供应。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，江宁区米袋真空搬运机供应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，江宁区米袋真空搬运机供应，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。浦口区象鼻子真空搬运机推荐厂家！江宁区米袋真空搬运机供应

    可旋转360°，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂上设有扶手，扶手上设有电脑控制盒，下垂臂末端设有真空吸盘，真空吸盘下端吸有工件。摘要一种新型真空搬运机械手，属于一种机械手。机械手立柱顶端设有主旋转座，主旋转座通过主旋转轴与大侧板相连接，大侧板左侧下端设有主升降气缸，主旋转座和大侧板之间设有主关节锁死装置，摆动主臂和摆动副臂一端分别与大侧板相连接，另一端分别与连接板相连接，横臂旋转座通过旋转臂主轴与旋转臂相连接，旋转臂和横臂旋转座之间设有副关节锁死装置，旋转臂末端设有垂臂旋转座，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂末端设有真空吸盘。该机械手利用真空原理，吸附物体，进而平衡物体的重力，使操作人员在基本感觉不到物体重力的情况下，轻松完成物体的搬运、翻转、装配等工序，操作简单、运作省力、高效安全。江宁区米袋真空搬运机供应溧水区象鼻子真空搬运机推荐厂家！

    并不限定于第1、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp，也可以具备一处或者三处以上。另外，在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的第1、第二保管区域sa1、sa2。第1保管区域sa1与第1处理装置tl1对应设置，第1保管区域sa1配置于两列第1处理装置tl1之间。第二保管区域sa2与第二处理装置tl2对应设置，第二保管区域sa2配置于两列第二处理装置tl2之间。在各列第1、第二处理装置tl1、tl2中，装载端口lp配置于与各个第1、第二保管区域sa1、sa2对置的一侧。如图1所示，搬运系统100具备：顶棚轨道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重机40a、40b以及高架搬运车50。顶棚轨道10具有第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16。第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16是将第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12连结的区段间顶棚轨道。第1区段内顶棚轨道11从第1处理装置tl1的装载端口lp的正上方错开配置，并且沿着装载端口lp设置。第二区段内顶棚轨道12从第二处理装置tl2的装载端口lp的正上方错开配置。

    第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。六合区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！

    因此高架搬运车50能够从第二区段内顶棚轨道12无障碍地移动至第1区段间顶棚轨道13。接下来，如图9所示，高架搬运车50在第1区段间顶棚轨道13上朝向-x方向行驶，从第1区段间顶棚轨道13经由第1连接轨道15的入口部15a向第1区段内顶棚轨道11移动(参照图9的箭头)。其后，高架搬运车50从第1连接轨道15的入口部15a移动至第1区段内顶棚轨道11的直线部11a，并在与作为搬运目的地的第1交接端口30a对应的位置停止。接着，高架搬运车50使横向伸出机构55向-x方向突出，驱动升降驱动部54使保持部53下降，由此将物品2载置于第1交接端口30a。通过以上的动作，能够将物品2从第二保管区域sa2搬运至第1保管区域sa1。另外，如上述那样，在第1、第二保管区域sa1、sa2的+y侧或者-y侧端部配置第1、第二交接端口30a、30b，由此能够避免高架搬运车50为了物品2的交接而停止在第1、第二保管区域sa1、sa2内的中间部分等，能够扩大第1、第二起重机40a、40b的运行范围。另外，例如，通过第1起重机40a将物品2(搬运目的地是第二保管区域sa2的第二交接端口30b)载置于第1保管区域sa1的第1交接端口30a的情况下。江宁区米袋真空搬运机推荐厂家！江宁区米袋真空搬运机供应

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