微型低温探针冷台

微型低温探针冷台,可定低温制探针台系统，整套系统包括探针台真空腔主体、铁制抗震支架、进口分子泵机组、视频显微镜、探针、智能温控仪等配置



一部分：系统及指标描述
1、总体规格
尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）
自重：约80Kg
2、结构与特点
（1）真空腔体：真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）
（2）探针控制：标配4个探针臂。调节范围x轴12mm    ±6mm，y轴12mm    ±6mm，z轴12mm    ±6mm，调节精度≤5μm。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆
（3）显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
（4）变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.01K
（5）可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤
（6）系统直流漏电低于10pA
3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪
4、设备照片（因配置不同，照片仅供参考）
微型低温探针冷台

技术参数；
真空腔体
类型
加热型350℃   或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃
腔体材质
304不锈钢
腔体内尺寸
φ90x40mm
腔体上视窗尺寸
Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）
腔体抽气口
KF16 
腔体进气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体出气口
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质
304不锈钢
样品台尺寸
26X26mm
样品台-视窗 距离
30mm（可选凹视窗间距15mm）
样品台测温传感器
A      级PT100铂电阻 
样品台温度
室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）
样品台测温误差
±0.2℃
样品台变温速率
高温10℃/min   低温5℃/min  最大值
温控仪
温度显示 
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）
温度分辨率
0.1℃
温控精度
±0.5℃
温度信号输入类型
PT100热电阻 （可选 K    S  B型热电偶）
温控输出
直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针（可定做6探针）
探针材质
镀金钨针
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
12mm    ±6mm
X轴控制精度
≤5μm
Y轴移动行程
12mm    ±6mm
Y轴控制精度
≤5μm
Z轴移动行程
12mm    ±6mm
Z轴控制精度
≤5μm
数码显微镜
显微镜类别
物镜放大+电子放大
显微镜放大倍数
100倍
显微镜工作间距
50-150mm
相机分辨率
1080P  60帧  
相机信号输出
HDMI输出+USB输出
LED可调光源
LED光源
显示屏
5寸 屏幕一体机