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    并且沿着装载端口lp设置。第1区段内顶棚轨道11是以包围第1保管区域sa1的方式配置为环状的环绕轨道，第二区段内顶棚轨道12是以包围第二保管区域sa2的方式配置为环状的环绕轨道，黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到，但并不限定于该结构。第1区段内顶棚轨道11具有直线部11a和循环部11b。直线部11a在装载端口lp的正上方沿着多个装载端口lp在y方向上配置。直线部11a在俯视下分别配置于第1保管区域sa1与隔着第1保管区域sa1对置配置的多个装载端口lp之间。循环部11b包含曲线部且配置于y方向的两端，将两个直线部11a彼此连接。第二区段内顶棚轨道12与第1区段内顶棚轨道11相同地，具有直线部12a和循环部12b。直线部12a在装载端口lp的正上方沿着装载端口lp与y方向平行地配置。直线部12a在俯视下分别配置于第二保管区域sa2与隔着第二保管区域sa2对置配置的多个装载端口lp之间，黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到。循环部12b包含曲线部且配置于y方向的两端，黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到，将两个直线部12a彼此连接。此外，在本实施方式中，示出第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12也可以是不同形状。第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14被设置为分别沿着x方向呈直线状延伸。雨花台区多功能真空搬运机推荐厂家！黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到

第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到六合区常见真空搬运机推荐厂家！

    吸盘20在没有了真空作用力下，失去吸附力，被搬运物体脱离吸盘20，到此完成整个的搬运过程。本实用新型安装时，只需将立柱I底端固定在地面上即可。上述实施例只用于解释说明本实用新型的发明构思，而非对本实用新型权利保护的限定，凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动，均应落入本实用新型的保护范围。权利要求1.一种轻型真空搬运机，其特征在于包括立柱、支柱、旋臂、斜拉杆、真空泵、连接管、搬运管、真空吸盘装置；支柱包括套置在固定柱外壁上的旋转轴套，固定柱固定在立柱的上端，旋臂一端直接与旋转轴套固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套固定连接；连接管一端与真空泵连通，另一端与搬运管连通，真空吸盘装置安装在搬运管的底端，搬运管滑动连接安装在旋臂上。2.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述固定柱通过上盖和下盖固定在立柱上。3.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述固定柱与旋转轴套之间且由上而下依次安装有并帽、垫圈、上轴承、下轴承。4.如权利要求I所述的轻型真空搬运机，其特征在于所述旋臂一端直接与旋转轴套的下端固定连接，另一端则通过斜拉杆与旋转轴套的上端固定连接。

    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、第二保管部20a、20b在各个第1、第二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、第二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。第1保管部20a配置于相对于第1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、第二保管区域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。第1交接端口30a设置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有与第1、第二保管部20a、20b相同的结构，第1、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。栖霞区室内深加工真空搬运机推荐厂家！

保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构，也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机，通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制，使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置60等控制，将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54和保持部53沿着引导件，在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。江宁区糖袋真空搬运机推荐厂家！黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到

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    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。黄浦区粉尘真空搬运机哪里可以买到

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