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    末端扶手301同样为矩形框，有两个长边梁和两个短边梁组成。连杆302为圆柱形杆件，其可转动地插在末端扶手301的一个长边梁上，且该长边梁与两个短边梁连接处为圆弧形。由此，末端扶手301可绕连杆302的轴线转动。结合图6可知，万向接头结构5包括球形槽501和第二球头502。球形槽501为一个由两部分组成的空心壳体，其一部分为截头圆锥形壳体，另一部分为从截头圆锥形壳体锥底向远处延伸的一段球面壳体。截头圆锥形壳体的锥顶固定在外调节杆202未开口的一端。而球形槽501的球面壳体部分远离外调节杆202的一端设有开口。如图9所示，第二球头502固定在连杆302远离末端扶手301的一端。其设置在球形槽501中，并可自由转动，使得万向接头结构5形成类似关节的结构。结合图2和图6可知，万向球头接头结构4包括球头401、弧形槽402、锁紧件403和阻尼件404(参见图10)。如图2所示，弧形槽402为球形壳体，其固定在防滑手柄101远离支架102的一端。而弧形槽402远离防滑手柄101的一端设有开口，而弧形槽402的两侧设有开孔4021(参见图10)，秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有，该开孔4021为螺纹孔。如图6所示，球头401通过一圆柱形杆件固定在内调节杆201未插入外调节杆202中的一端，秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有。同样，秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有，球头401设置在弧形槽402的内部。江宁区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有

    所述蜗杆的底端贯穿安装板的顶壁并延伸至转槽内，所述蜗杆的底端安装在限位板的顶壁上。地，所述固定夹板的顶壁上同样开设有转槽，所述转槽内同样设有限位板，两个所述转杆远离移动夹板的一端贯穿固定夹板的顶壁并延伸至转槽内，两个所述转杆远离移动夹板的一端分别安装在限位板的顶壁上。地，所述固定夹板与移动夹板相对一侧的侧壁上均安装有防滑齿。地，所述横板上开设有与三角形传动件相匹配的矩形槽。地，所述安装板靠近立柱一侧的侧壁上安装有滑块，所述立柱的侧壁上开设有与滑块相互配合的竖向滑槽。地，所述立柱的底部安装有滑轮。本发明中，分别将第1电机和第二电机接通电源，先将第二电机进行正转，第二电机转动时带动第1转盘转动，第1转盘通过三角形传动件可将两个第二转盘进行转动，同时两个第二转盘上均安装的转杆可与移动夹板进行啮合，因此转杆转动时可迫使移动夹板向固定夹板进行移动，进而在固定夹板与移动夹板的相互配合下可对板材进行夹紧，固定夹板与移动夹板上安装的防滑齿可防止板材滑落，增加稳定性，将板材夹紧后，打开第1电机并将第1电机进行正转，第1电机通过驱动端安装的斜齿轮可将蜗杆进行旋转。秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有雨花台区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。

    所述的手指固定座33上设置有插槽41，所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42，扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时，升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作，旋转轴2进行机械手的水平旋转工作，伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手，本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动，一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构，通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时，带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动，在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动，且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构，共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度，又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42，自动扫描片盒中晶片的状态（包括：有，无，重片，斜片），通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。江宁区粉尘气动悬臂吊推荐厂家！

自所述电路基板的法线方向观察时，隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此，能够使第2线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔，自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，还具有配置于所述电路基板的电容器，自所述电路基板的法线方向观察时。溧水区多功能气动悬臂吊推荐厂家！秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有

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    能够抑制磁传感器相对于磁体的振动。由此，能够进一步将磁传感器与磁体之间的间隔距离保持为恒定。磁传感器能够精度良好地检测磁体的旋转角度。作为理想的技术方案，所述弹性体具有环形状，在自所述轴的轴向俯视时，所述通孔位于所述弹性体的环的内侧。由此，当弹性体分别贴紧于壁部和电路基板时，壁部的环被电路基板封堵。由此，能够防止异物自散热器的第1面侧进入壁部的环的内侧。由于磁于壁部的环的内侧，因此能够抑制异物附着于磁体(发生污染)。作为理想的技术方案，所述壁部具有在与所述电路基板相对的面设置的槽部，所述弹性体能嵌入所述槽部。由此，易于将弹性体配置于壁部的与电路基板相对的面侧。能够防止弹性体相对于壁部错位。作为理想的技术方案，所述弹性体为绝缘性。由此，弹性体能够使电路基板与壁部之间绝缘。例如，即使在壁部由金属制成的情况下，弹性体也能够防止电流在壁部与电路基板之间流动。作为理想的技术方案，还具备将所述壁部的外周面和所述第1面连结起来的多个肋。由此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。作为理想的技术方案，所述多个肋沿着所述壁部的周围以等间隔配置能够确保壁部与散热器之间的连结强度不产生偏差。作为理想的技术方案。秦淮区包装袋气动悬臂吊哪家有

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