高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气。氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴和其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中用于吹炼特种钢。
高纯氩是无色无味无毒气体。化学性质极不活泼,未形成任何化合物。相对密度ds(21.1℃)1.38。气体密度1.650kg/m3(21.1℃);液体密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸点-185.9℃。熔点-189.2℃。
高纯气体是气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体,纯度指标不同,高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体.
在使用氩气时,需要在良好的通风环境下进行,当氩气意外大量泄漏时,人员需要马上撤离,并且尽可能切断泄露源,使泄漏场所保持通风。
普通氩气如何成高纯氩气?
用吸气剂方法,即利用一种合金在外在温度下,对氧、氢、氮、一氧化碳、甲烷能生成不同的聚合物,使这些杂质组分被吸收掉,从而达到高纯氩气的目的。一般要制取高纯度的氩气就必须采用此种方法。
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