在1970年之前,半导体产业已累积至少10年的发展动能。这新兴的产业**收益虽仅有几百万美元,却汇聚了许多有远见的,共同开创一个半导体设备及材料供货商的聚焦论坛—这个组织正是「**半导体设备与材料产业协会」(Semiconductor Equipment and Materials International),也就是大家熟知的SEMI。
SEMI是**半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
SEMI(半导体设备与材料的**性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的*的规格要求。主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
为了快速浏览,SEMI S2涵盖了半导体制造机器评估中的以下一些主题:
危险警示标签(与SEMI S1有关)
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
*保护
工艺液体加热系统(与SEMI S3有关)
人机工程学和人为因素(与SEMI S8有关)
危险能量隔离
雷射
SEMI常见安全标准:
SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等,其中S系列规定了环境健康安全(EHS)的要求。
SEMIS2是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准。符合SEMIS2不仅符合了**相关规定,也是半导体产业的保险公司所要求的必要条件之一。目前已成为真正的美国和**半导体制造设备的安全准则。
SEMIS2涵盖半导体制造设备的环境、健康及安全条件。具体说来,SEMIS2涉及电气、机械、*、化学、辐射、噪音和防震等各方面的安全领域。
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