ENI/MKS RPG电源 DC电源

AENI等离子体电源亚太(上海/广州/中国香港)维修中心 
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公司名称: 德国AENI等离子体电源亚太（亚太）维修中心
广州市伊恩埃半导体技术有限公司
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联 系 人：林晓东


ENI/MKS DC电源 RPG 系列直流脉冲产品 
RPG系列DC电源发生器可用于高速反应溅射工艺中。它使用了非对称、双极性的脉冲直流电源，溅射速率可以比传统的RF磁控溅射增加3至5倍。用户可自行设定频率**了工艺性能的较佳化，大小可调的反向偏压能够**对靶上的绝缘层进行溅射，避免了溅射靶的“中毒”现象。反偏电压和可编程的占空间比使得额外得能量能够进入等离子体，提高了等离子体得离化度和密度。