供应蚀刻/开发/清洗全套系统

蚀刻/开发/清洗全套系统 （EDC-100系列）
•单晶圆蚀刻旋转涂覆机;
•**聚丙烯NPP材质或特富龙材质 ; 
•与镀膜相对应，本系统专为蚀刻，开发及清洗过程而 设计；
•针对许多混合水试剂的应用提供的解决方案；
•可以和650控制器，SPIN3000软件配套使用

EDC 系统
这是一种灵活，*和实惠的研发工具，EDC 系列常被 应用在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥 ，开发-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转 涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的零孔隙度特富龙流 体路径等特点，干净的ECTFE圆顶盖使用户能够实时观 察过程的*运行，记事是每一单步处理过程模式也可 以（Laurell *有的性能）。

EDC 系统具有可编程阀，它可以使单注射器试剂滴胶按 照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通 常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等较 后的处理步骤。采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在 *干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的 给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。本系统还有 可选择的动态线性或径向滴胶的特性。虽然在这些过程 中常采用非真空转头，该系统仍然具备真空下压能力。

当边缘控制型或真空型转头附上称底时，门插销、门锁 和电气联锁为此提供多重保护，也包括大容积的废液和 废气排出口。
一般特点：
•型号8 系列为200毫米晶圆设计和15个系列为300毫米 晶圆设计
•数码控制处理器
•**结实的聚丙烯材料NPP，并带连锁门
•清晰可视的ECTFE圆顶盖子
•特氟隆材质的控制阀
•可调节的氮气扩散处理装置
•可调降流式排气及排水（含10’ 柔性导管）装置
•电动双绝缘和**载保护
•*门联锁（不允许旋转和试剂滴胶过程中打开处理 腔）
•*门闭锁（需要特别按键才能打开处理腔）
•*门锁（当程序正在运行或运行结束后转头仍在旋 转时，处理腔无法打开。）

一些可供选择：（参照具体配置要求）
•不锈钢压力容器
•双重保护的ECTFE包裹不锈钢压力容器（通常为单一4 升瓶）
•多重输出注射器
•英制或公制尺寸非真空晶圆转头
•带微型支架的非真空转头
•真空转头
•真空转接器（为小至3毫米小片称底设计的）
•还可提供其他一些转头，可根据样品或具体的尺寸， 包括厚度和所有公差要求来自定义。

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