复合式ULSI制程大都采用此种型式
复合式
此种方式是为了将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
1.装局部洁净车间:将洁净车间等级10,000~100,000之乱流洁净车间内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
2.净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
3.净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。
通风风管的连节方法宜选用活套法兰对洁净度等级规定高的非单边流净化室或宽高比较为大的净化室,尽量采用小排风量多正压送风口总数的排风方式;而回风口也应取用小排风量多回风口总数的计划方案。针对洁净度等级为1000级的净化室,采用双侧下次风的方式。对小于1000级洁净度等级的净化室,当净化室总宽不超3M时,可选用一侧下次风;当超过3M时,宜选用双侧下次风;当净化室总宽很大时,若双侧下次风不可以考虑自然通风规定时,天津洁净室,应在净化室1/2总宽处加设回风口(选用回风柱等方式),以降低涡旋区。
当正压送风口、回风口布置好后,可开展排风管、回通风风管的布置,在清洁空调风管系统软件中,因为过滤器的高宽比在500-600Mm,因此排风管和回通风风管即便 产生交叉式也非常容易布置,天津洁净室装饰,一般状况下排风管在上边,回通风风管在下边;针对选用流行区排风的诊室、排风天花吊顶一般为侧进风,因此在装修吊顶隔层内排风立管应设置在送风立管的下边。
支通风风管风力,无送、回风口的支通风风管取4-6m/s,有送、回风口的支通风风管取2-5m/s;采用适度的风速计算出通风风管横断面总面积后,应考虑到镀锌板的变位系数、风管加工加工工艺、安装室内空间、是不是过墙等要素,并参照标准强烈推荐的矩形框风管规格来明确通风风管的横断面规格;清洁空调风管规定拼凑缝尽量少,因此尽量运用镀锌板的规格变位系数,降低拼凑缝,通风风管的每节长短好是不超1m,通风风管的连节方法宜选用活套法兰,天津洁净室安装,那样密闭性靠谱。
净化车间的消毒方式有很多种,比如物理的、化学的等等,而紫外灯消毒也是一种比较常见并且应用较广的方式,那么我们应该如何使用它呢?下面为大家介绍具体步骤及注意事项。
净化车间紫外灯线是一种光波长范畴为1360×10-十米~3900×10-十米的不可见光线。按光波长范畴可分成A.B.C三波段和真空泵紫外线:1、A波段320nm~400nm;2、B波段275nm~320nm;3、C波段200nm~275nm;4、真空泵紫外线100nm~200nm。紫外线在光波长为2400×10-十米~2800×10-十米范畴的作用。
病菌是微生物的一种,微生物身体都带有核苷酸,核苷酸消化吸收紫外线直射的辐射后会造成光化毁坏作用,进而杀掉微生物。紫外线是一种比由此可见的紫光波长也要短的不由此可见无线电波,它的光波长范畴为136~390nm,在其中253.7nm光波长的紫外线具有力,灯即根据此造成253.7nm的紫外线,而核苷酸的巨大辐射源消化吸收光波长恰为250~260nm,因此紫外线灯具备一定的作用。
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