Setra西特760高精度真空计应用 半导体过程工具和设备 实验室和研究开发,实验和测量,度量,分析化学系统
Setra Model 760 电容压力计是为的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从 10Torr 到1000Torr。 测 量 单 位 可 以 是 Torr, mbar/hpa, kpa 或psia。 Model 760 的工作电压是 15VDC,输出 0~10VDC或0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和 ESD 抑制元件以及输入输出的 RFI 过滤等技术, Model 760 具有出众的 EMI/RFI 性能。Model 760 有一个完整的滑面,很容易提供有的零点调节和量程调节的多匝电位计。 Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压
力和真空接头。
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