复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,无尘室设备定位安装方案,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充*; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,无尘室设备吊装搬迁报价,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
气流是控制洁净度与温湿度的主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,无尘室设备搬迁公司电话,都是放在无尘室测试的步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还**用风速乘以出口面积来换算。
无尘室(Clean Room),绍兴无尘室设备,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
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