——洁净室检测之照度检测、噪声检测注意事项——
噪声
测量高度距离地面约1.2米,洁净室面积在15平方以下者,可只测室中心1点;面积在15平方米以上,还应再测对角4点,距侧墙各1米,测点朝向各角。
照度
测点平面离地面0.8米左右,按2米间距布点,30平方米以内的房间测点距边墙0.5米,**过30平方米的房间测点距离墙面1米。
检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计,至少要检查下列各点:
1、洁净室设备的成套性;
2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;
3、公用和辅助设备功能运转是否正确;
4、所以控制系统,洁净室检测公司,监控器,报警和警报器等的检定(检查)日期;
5、安装质量;
6、安装过滤器(终过滤器)的完整性;
7、电源和设备是否有备份,其中包括空气处理设备的风量余量;
8、压差;
9、气流特性(单向气流--流速,均匀性和气流方向);
10、维护结构的密闭性;
11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;
12、表面洁净度;
13、包装中是否有备件。
检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义,此项检查对ISO6级、ISO5级及较别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。
过滤器检漏的前提
1、提前拆除过滤器的散流板。
2、洁净区要进行清洁,净化系统提前运行。
3、被检漏过滤器**已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。
检漏的重要性
1、检漏试验是粒子测定的基础,其重要性不亚于粒子测定。
2、检漏试验和空气流速达到了规定要求,气流均匀度也在规定的控制范围内,则洁净度当然有了**。
检漏方法
1、气溶胶作尘源,与气溶胶光度计配合。
常用气溶胶:邻ben二甲酸二辛酯(DOP),因其具有致突变性,现多采用 聚α-烯烃(PAO)。
2、大气尘作尘源,与粒子计数器配合。
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