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河南霖硕空气净化设备有限公司当您准备创建净化车间的生产工艺环境时，当您希望拥有节能、环保、*的洁净车间工程时，只有、全面的系统解决方案和配套才会给您带来安全可靠的**。
集成电路无尘车间设计施工要求
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。
*二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。
*三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为主要的净化设计方案。
FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过**过滤器送入工艺层和工艺层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、**纯水供应等。
集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本，洁净度安全性，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
集成电路制造是高能耗的产业，而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上，因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。
随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升，为制程产品生产提供**。

洁净车间如何有效防患微粒子污染?
净化车间内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则：
一、不携入
在洁净车间内不携入微粒子的方法有：
1）作业员进入洁净车间前，机台、零件携入前应进行清洁处理；
2）进入洁净车间者在较衣室要穿着不发尘、不产生静电的具导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入洁净车间。
4）机器及材料带进洁净车间前，应尽可能在密封状态下带进洁净车间前室保养后用**纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入洁净车间。
5）洁净车间中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
二、不制造
在控制污染源--人在净化车间内的微粒子发尘量的同时，也应控制*污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策：
1）减少接触剥离发尘的动作形态；
2）采用磨耗发尘小的材质；
3）采用发尘小的润滑油；
4）机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
三、不储备
若能彻底实施“不携入”技术，洁净室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的洁净车间内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。
在等级的洁净车间中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在洁净车间内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
洁净车间内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。
四、排除/除去
在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让洁净车间内产生微粒子，因此直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向洁净室外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到洁净车间内之对策。

洁净车间净化装修平面设计依据
在洁净车间设计中，每一个设备都考虑一定地位，包括设备本身所占地位，操作地位，设备地位，设备检修拆装地位以及设备与设备、设备与建筑物的安全距离。设备布置应考虑为操作工人管理多台设备或多种设备创造条件，不宜过紧或过松，应尽量对称紧凑，排列整齐，充分利用空间。设备的自动监测仪表要集中控制，阀门控制尽量集中，便于工人操作。设备能顺利进出车间的要求，通过楼层的设备，楼面上要设置吊装孔。
考虑洁净车间设备的检修和拆卸以及运送物料所需的起重运输设备；凡笨重设备或运转时会产生剧烈振动的设备，应尽可能布置在厂房的底层，以减少厂房楼面的负荷。且剧烈振动的设备，其造作台基础不得与建筑物的柱、墙连在一起，以免影响建筑物的安全。设备布置要避开建筑物的柱子和主梁。厂房内所有操作台必须统一考虑，避免平台支柱零乱重复，影响车间美观、生产操作及检修。
洁净车间设计
1、 洁净车间布置平面图
该车间生产类别为丙类，耐火等级为二级构形式为单层框架，层高为5m；洁净控制区设吊顶；吊顶高度为2.70m；一步制粒间局部抬高至3.5m。车间内的人员和物料通过各自的**通道进入洁净区，和物流无交叉。整个车间主要出分三处，一处是出人口，即人员由门厅经过较衣进入车间，再经过洗手、较洁净衣进入洁净生产区、手消毒；一处是原辅料人口，即原辅料经过脱外包由传递窗送入；另一处为成品出口。
车间内部布置主要有湿法制粒、干燥、整粒、总混、灌装、抛光、铝塑内包、外包等工序。
2、 洁净车间产尘的处理
发尘量大的粉碎、过筛、制粒、干燥、整粒、总混、充填等岗位，需设计必要的捕尘、除尘装置。
产尘室内同时设置回风及排风，排风系统均与相应的送风系统连锁，即排风系统只有在迭风系统运行后才能开启，避免不正确的操作，以保证洁净区相对室外正压。工序产尘时开除尘器，关闭回风；不产尘时开回风，关闭排风。
3、 车间排热、排湿及臭未处理
配浆、容器具清洗等散热、散湿量大的岗位，除设计排湿装置外，同时设置前室，以避免由于散湿和散热量大而影响相邻洁净室的操作和环境空调参数。烘房是产湿、产热较大的工序，如果将烘房排气先排至操作室内再排至室外，则会影响工作室的温湿度。将烘房室排风系统与烘箱排气系统相连，并设置三通管道阀门，阀门的开关与烘箱的排湿连锁，即排湿阀开时，排风口关。此时烘房的湿热排风不会影响烘房工作室的温度和气流组织。铝塑包装机工作时产生PVC焦臭味，故设置排风，排风口位于铝塑包装热合位置的上方。
4、 参观洁净车间走廊的设置
参观走廊的主要功能是人物流通道，同时也是保证消防安全通道畅通；使洁净区与外界有一定的缓冲，保证了生产区域的洁净；作为参观走廊，应使参观者不会影响到生产。而且洁净走廊的设置，使用暖气采暖成为可能，保护了洁净区，避免冬季内墙结露。因为洁净区靠外墙，如果不设窗，影响房间采光；若设双层窗，无论如何密闭，灰尘也要进来，窗户的清洗也成问题。因此，参观走廊的设置就显得比较重要了。
本洁净车间设计中走廊宽度设为3m，高2.7m，具体位置布局见车间平面布局图。因为，建筑物内表面即使不受碰撞也会发灰，因此要控制室内洁净度，也应考虑室内饰面材料发尘量的因素：走廊的地面选用水磨石等整体性好的材料，制作时加厚回填土，提高水泥标号，必要时还可配置钢筋，增设防水层等以防地面开裂、返潮。墙面，天棚饰面可选用乳胶漆(苯丙涂料)。
除选用发尘量小的装饰材料外，同时还要减少建筑物内表面易于积尘的部位，便于清洁也是重要的净化措施。在走廊设计中，窗户不设窗台，窗柜与墙面齐平，易积灰尘平台设15度得斜度以免灰尘积聚。墙面上墙根、路脚线等不要凸出。墙、**、地交接处宜有一定弧度(半经为20—50)。

在电子加工行业中，需要重视电子产品的加工质量，而生产场所内的清洁度就是重要指标之一，所以平时在进行生产加工的过程中需要注意通过净化工程设计施工达到净化目的，为产品的生产加工操作提供一个较好的生产环境，以确保产品的加工制作质量。
净化工程
进行电子产品加工期间，对于生产场所内的湿度要进行严格控制，加工场所内的湿度不可以受到外界环境的影响，只有控制在一定的标准范围内才可以符合电子产品的加工生产要求，针对这种情况就可以通过净化工程来实现，通过合理的工程设计可以让生产车间内的湿度符合标准范围，避免因为环境内湿度过大而影响到产品的制作质量，另外工程设计还可以对车间内的温度进行控制，让车间内的湿度温度都符合产品的加工制作要求。
净化工程
其次通过净化工程设计可以控制车间内的气压值大小，为了避免车间内的温度和湿度等受到外界环境的影响，就需要让车间内达到一定的气压指标，这样室内和室外就形成了气压差，让车间内的生产环境可以符合加工标准，但是想要达到这样的设计目的，还需要结合厂房的大小以及产品加工需求来定。
本公司技术力量雄厚;净化工程(产品)质量优良,服务完善。本公司专注于空气净化工程领域多年,因为,所以可靠;因为诚信,所以发展。给我一个空间,还您一洁净的世界。让我们携手,一起成长!

河南霖硕空气净化设备有限公司是一家专业从事净化工程设计、制作、安装、调试以及空气净化工程设备产品生产的高科技企业。公司拥有精干的科技设计人员,专业的设备制作人员,优良的净化工程安装队伍。当您准备创建净化车间的生产工艺环境时，当您希望拥有节能、环保、*的洁净车间工程时，只有优质、全面的系统解决方案和优质配套才会给您带来安全可靠的**。本公司技术力量雄厚;净化工程(产品)质量优良,售后服务完善。本公司专注于空气净化工程领域多年,因为专业,所以可靠;因为诚信,所以发展。给我一个空间,还您一洁净的世界。让我们携手,一起成长!