检漏步骤为:1.检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰,很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气,由于机械泵运转的振动较大,螺栓容易松动,波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。2.检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。
笔者根据实测经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右,即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应,充气柜检漏,则可进行第二次喷氦。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦质谱检漏设备因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上, 由近而远的顺序进行。为了避免事故的发生,化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的,所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果,因此,测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
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