供应TANAKA半导体用气体控制系统

SUPER TORR 系列

S-TORR系列是，专门为百万比特应用而开发的**高纯度气体用调整器。
基于在半导体加工气体线方面有业绩的TORR系列调整器技术而开发销售10年来一直广受**。
把轻便化，小型化做为目标而设计的“S-TORRⅡ系列”，再加上根据用途不同而规格细分化的“S-TORRⅢ系列”充实了产品种类。 

主要特长
在0.1x10-6m等级10的无尘室进行组装。（除S-TORRⅢ非抛光品以外） 
连接部分采用焊接（主体，接头），金属密封，从而减少了泄露量。 
通过连接气体金属部分的合成电离抛光处理（注1）以及内容积的缩小化实现了脱气以及颗粒的较少化。 
[S-TORRⅡ系列]应用于腐蚀性气体，拥有2大分类：连接气体的金属部位使用了高耐蚀耐热镍基合的[1800系列]，在重要部位使用了耐蚀耐热镍基合金的 [E1800系列]。 
这延长了在腐蚀性气体上的使用期限以及提高了*性（注2）。 
为了应用与腐蚀性气体，[S-TORRⅢ系列]将在重要部位采用了耐蚀耐热镍基合金的 [S-H系列]作为标准品。 
S-TORRⅢ系列为了应用于负压控制以及低蒸汽压气体，备有[隔膜/sheet连接型]的A10系列。 
备有适合各种气体的树脂，因此可处理好每个较其细微的部分。 
S-TORRⅡ，Ⅲ系列内部装有过滤器，因此可以大幅减少内部泄露（除S-TORRH50WV，S-TORR150系列以外）。 
实施过氧泄露试验，颗粒试验等全套试验（注：S-TORRⅢ系列颗粒量的**功能另选配）。 
虽然小型但是能实现**的流量特性。 
全部机种均可制造为高压气体认证品。 
（注1） S-TORRⅢ系列根据需求可应用在3种抛光规格。 
（注2） 强腐蚀性气体，腐蚀性气体的保质期根据用户的使用方法存在很大的差异， Sus与耐蚀耐热镍基合金相比较而言，使用后者较大减少了故障的发生率。另外，还可以减少压力表，隔膜等壁薄部分受侵蚀而发生的泄露现象。

上海田福电力设备有限公司成立于2005年2月,致力于为工业领域提供欧美**的控制技术与传感技术,并结合用户环境进行系统开发.作为**的系统集成公司,我们拥有一批高素质的技术开发和技术支持人员,为国内客户提供**的服务。我公司与上海重工集团、上海电气电站集团、中国华能集团、中国电力投资有限公司、国电集团、上海三菱电机、三菱电梯、上海强生制药等企业均建立了长期的合作伙伴关系，成为众多**企业的忠实供应商，并获得他们的一致**。
对于传感器，我们主要提供如下产品：
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本公司生产：自动振动筛 
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