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视频作者：北京创新通恒科技有限公司

电子气体中金属杂质的捕集

电子工业用气体统称电子气体，指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体，是微纳电子制造*战略产业的关键支撑材料，其广泛应用于大规模集成电路、液晶显示器、多晶硅和薄膜太阳能电池、新型电光源、光电半导体器件以及光纤通讯器件等电子行业 [1] [2] [3]。表1为一些电子工业生产中所常用到的高纯气体 [3]。

近年来，杂质捕获仪生产厂家，随着微纳电子先进制程向大尺寸、窄线宽、高集成度、高均匀性和高完整性发展，对电子气体的纯度和一致性要求越来越高，除了应具有5 N (99.999%)以上纯度，还要求电子气体中的H2O、气体杂质(如O2、CO2、CO、CH4等)和金属杂质(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指标达到ppb (10?9)至ppt (10?12)数量级，气体的品质要求高度稳定且一致。电子气体的纯度对于半导体器件的质量与成品率影响很大，尤其是气体中的金属杂质，杂质捕获仪费用，是使半导体产生漏电、晶格缺陷和断线的主要原因

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机械杂质测定仪是根据GB/T511《石油产品和添加剂机械杂质测定法（重量法）》规定的要求设计的，适用于测定石油产品中的各类轻、重质油、润滑油及添加剂的机械杂质的含量。

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仪器组成编辑 语音水浴箱（含量杯托架）控制箱控温漏斗温度传感器抽滤瓶(1000ml、含16#白塞)玻璃漏斗（Ф90）支架杆、锁紧件漏斗托温度计量杯（1000ml）电源引线电源线（250V 10A）硅胶塞（1#）温度计挡圈（1#）保险丝 10A（Ф5×20）

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由振荡器向发射线圈供给一定频率的高频电流，杂质捕获仪价格，发射线圈周围便产生高频可变磁场。两组付线圈采用极性相反的差动联接方式。正常情况下，两组线圈中感应电动势大小相等，极性相反，互相抵消，差动电势为零，探头没有信号输出。当被探测食品是以速度(gt;0.1米/秒)自左向右通过探头时，混杂在食品中的金属体便会使周围的电磁场发生变化，并将这个微小金属引起的变化，变成电信号(差动电势)送至选频放大器，检波器和调制型直流放大器进行高倍放大，广州杂质捕获仪，达到推动触发器翻转的目的，从而给出探测信号，并切断某些控制电路，实现探测过程的自动化。

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